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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)코리아스타텍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201500016815 |
과제고유번호 | 1425072618 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-24 |
키워드 | 정전척.ESC.LCD.OLED.Dry Etching.Emboss.DC Port.Plasma Spray Coating. |
□ 개발목표
계 획
LCD Dry Etching 공정의 고해상도용 정전척 국산화 개발
실 적
삼성 시제품 납품: 5EA
LG 시제품 납품 완료 : 6EA
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 누설전류 : 계획(100nA이하 ), 실적(100nA이하 측정)
2. DAM부 조도 : 계획(0.7㎛이하 ), 실적(0.0145㎛)
3. 평탄도 : 계획(50㎛이하 ), 실적(3차원 측정기 : 43.3㎛)
4. 코팅층 조도 : 계획(2.5㎛이하 ), 실적(1.289㎛)
5. 기공율
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