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NTIS 바로가기주관연구기관 | 나노사이언스랩(주) |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201500017485 |
과제고유번호 | 1425069463 |
사업명 | 창업성장기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-31 |
키워드 | 사파이어 잉곳.사파이어 단결정. |
□개발목표
계 획
kyropoulos방법을 통한 85kg급 사파이어 단결정 성장
실 적
85kg급 사파이어 단결정 성장 성공.
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 잉곳 크기:계획( 85kg),실적( 86.7kg )
2. 에너지 효율:계획( 30%),실적( 30%이상 )
3. 로드 길드:계획( 200mm),실적( 210mm )
4. 결정 결함(EPD):계획(Max2000ea/cm^2),실적( <1,000ea/cm^2 )
5. Bubble:계획( > 10mm),실적( > 7mm
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