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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)프로비전 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-12 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500017677 |
과제고유번호 | 1425070800 |
사업명 | 창업성장기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-11-10 |
키워드 | 엑시머 레이저.레이저 에칭.라인 빔.광학 모듈.파워변동기. |
□개발목표
계 획
엑시머 레이저를 이용하여 터치 패널에 적합한 파인 패턴 가공을 구현하는 광학모듈 개발
실 적
개발된 광학모듈로 ITO글라스위의 파인 패턴의 구현이 가능해 짐
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 레이저 출력:계획( 3J/cm2 ), 실적( 3.1J/cm2 )
2. 패턴폭:계획( 70㎛), 실적( 60~70㎛ )
3. 패턴저항:계획( 50~100Ω), 실적( 10~30Ω)
4. 박막두께:계획( 50nm ), 실적(33~66nm )
5. 패턴클리어런스:계획( ±5㎛),
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