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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-10 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201500017844 |
과제고유번호 | 1425070647 |
사업명 | 연구장비활용기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-11-10 |
키워드 | 진공.진공펌프.다이아프램.저진공.드라이. |
□ 개발목표
계 획:
배기속도 1.5 ㎥/h, 도달진공도 3mbar급 다이아프램 진공펌프 개발
실 적:
시제품 (2 set) 개발 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 최대배기속도
계획 : 1.5 ㎥/h
실적 : 0.5 (10 mbar) ~ 2.1 (100 mbar)
2. 도달진공도
계획 : 3 mbar
실적 : 2 mbar (Vacuubrand DVR-2) 3.8 mbar (Pfeiffer CDG)
3. 진공도달
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