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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 문경일 |
참여연구자 | 김태범 , 박현준 , 이한찬 , 유덕기 , 김진규 , 옹상춘 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-10 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900014006 |
과제고유번호 | 1711079482 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2019-09-07 |
제 1 장 개 요
제 1 절 연구개발(지원) 목표
□ 본 과제는 진공펌프를 구성하는 부품을 질화처리하여 진공펌프의 수명 향상 및 진공 특성 개선을 목표로 함
ㅇ 플라즈마를 이용하여 부품 표면에 고경도 세라믹층을 형성하여 마모 특성을 향상시키고 동시에 침류층(FeS) 혹은 산화층(Fe3O4)을 형성하여 미끄럼성 및 내식성을 향상시키는 기술 적용
ㅇ 질화처리된 부품의 특성평가를 위해 하단의 정량적 목표를 설정하여 과제 진행
(출처 : 본문 : 제1장 개요
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