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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)레비텍 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-05 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500018323 |
과제고유번호 | 1425085262 |
사업명 | 구매조건부신제품개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-17 |
키워드 | 자기부상.하이브리드.급속열처리.영구자석.전자석.웨이퍼. |
□ 개발목표
계 획
○ 대면적 450mm 웨이퍼를 진공상태에서 균일한 온도분포를 유지, 고온 열처리(1100도)하기 위한 수직이송형 대구형 자기부상 회전시스템 개발
○ 챔버 wall을 투과하여 로터의 변위를 측정할 수 있는 자기식 변위센서 개발
실 적
○ 수직이송형 대구형 자기 부상 회전시스템 개발 완료
○ 자기식 변위센서 개발 완료
□ 정량적 목표 항목 및 달성도
1. 제어가능 속도범위 : 계획(0~300(Min~Max)), 실적(rpm, 0~300)
2. 속도리플 : 계획(
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