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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)재원 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-06 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500018561 |
과제고유번호 | 1425079390 |
사업명 | 창업성장-기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-03 |
키워드 | 틸팅 스테이지.초정밀 스테이지.정밀 스테이지.스테이지 장치. |
□ 개발목표
계획
틸팅 축 중심을 샤프트로 형성하고 샤프트와 이동 스테이지가 선 접촉을 이루게 하는 특허기술을 적용한 세계최고 수준의 Nano급 초정밀 틸트 스테이지 장치 개발
실적
당초 목표 성능 지표를 능가하는 실적 달성
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 위치 결정 정밀도 : 계획(500nm), 실적(107nm ~ 268nm)
2. 유격 정도 : 계획(10um), 실적(4.5um ~ 9.2um)
3. 반복 위치 정밀도 : 계획(500nm), 실적(300nm ~ 400nm)
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