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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-12 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201600001696 |
과제고유번호 | 1711034610 |
사업명 | 한국기계연구원운영경비 |
DB 구축일자 | 2016-05-14 |
키워드 | 롤투롤.진공증착.OLED 조명.Mask 정렬.장력제어.Roll-to-Roll.Thermal Evaporation.OLED Lighting.Mask Alignment.Tension control. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201600001696 |
□ OLED 조명용 롤투롤 진공 증착 장비 Pilot 개발 완료
ㅇ 롤투롤 연속 이송 스캔형 진공 증착 시스템 개발
- 롤투롤 연속 이송 스캔형 진공 증착 장비 설계/제작 (진공도<1x10-5 torr)
- 스캔형 증착시스템 증발원 해석 및 시뮬레이션 (위탁)
ㅇ 고진공용 롤투롤 웹 정밀 이송 제어시스템 개발
- 진공내 롤투롤 장력 및 속도 제어 모듈 개발 (장력제어 균일도<±5%)
- 진공내 롤투롤 유연기판 사행제어 모듈 개발 (사행제어 정밀도<±100㎛)
ㅇ 롤투롤 진공
For flexible OLED (organic light emitting diodes) lightings, a roll-to-roll evaporation system was developed. The roll-to-roll evaporation system consists of vacuum evaporators with linear-like source for continuous depositions, a roll-to-roll web handling module for flexible substrates and a 6-axis
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