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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)비엔에스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-09 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
연구관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201600005084 |
과제고유번호 | 1425088030 |
사업명 | 창업성장기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-08-27 |
키워드 | Vision.Stage.Alignment.Precision.Rotation. |
□ 개발목표
계획 - Self Calibration 기능이 탑재된 Automatic Alignment Stage 개발
실적 - Self Calibration 기능이 탑재된 Automatic Alignment Stage 개발 완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Align 위치정밀도
- 계획 : ±1um
- 실적 : 0.4um
2. Align speed(Moving 포함)
- 계획 : ±1sec
- 실적 : 0.995sec
3. 주변조도변화반응
- 계획 :
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