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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)힘스 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-08 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201600005513 |
과제고유번호 | 1425089177 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2016-08-27 |
키워드 | OLED MASK 측정기.OLED 측정기.MASK측정기.비접촉측정기.2차원 측정기. |
□ 개발목표
계획
본 기술은 OLED Metal Mask의 제작 공정이후 FMM 및 Open Mask의 주요 치수를 측정하여 Mask 변형을 모니터링하기 위한 설비의 주요 기구부, 광학측정부 및 제어부 개발로서 시작품 개발임.
실적
OLED MASK 측정기 주요 개발 5개 항목 포함 측정기 시스템 개발 목표 달성 완료함.
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. PPA 반복재현성
- 계획 : ≤1um
- 실적 : ≤0.99um
2. PPA 정확도
- 계획 : ±2um
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