초록 ▼

본 연구에서는 50 μm/fringe 이상의 감도를 가지고 있는 enhanced shadow moiré 기법으로 warpage를 측정할 수 있는 기법을 연구하였다. 첫 번째는 탈봇 효과(Talbot effect)에 의해 측정 영역이 제한되는 것을 개선하기 위해 빛의 파장을 바꿔 탈봇 영역을 확대하는 기법을 연구하였다. 두번째는 local phase shift 기법과 global fringe shift의 영상처리 기법을 연구하여 한 가지 기준격자를 사용하여 4~6배 높은 감도로 moiré 영상을 획득하는 방법을 연구하였다. 또한 10

본 연구에서는 50 μm/fringe 이상의 감도를 가지고 있는 enhanced shadow moiré 기법으로 warpage를 측정할 수 있는 기법을 연구하였다. 첫 번째는 탈봇 효과(Talbot effect)에 의해 측정 영역이 제한되는 것을 개선하기 위해 빛의 파장을 바꿔 탈봇 영역을 확대하는 기법을 연구하였다. 두번째는 local phase shift 기법과 global fringe shift의 영상처리 기법을 연구하여 한 가지 기준격자를 사용하여 4~6배 높은 감도로 moiré 영상을 획득하는 방법을 연구하였다. 또한 10.6 μm의 긴 파장을 가지고 있는 원적외선(CO2 laser)을 사용하여 shadow moiré과 laser interferometry의 장점을 가지는 far infrared Fizeau interferometry의 시스템을 설계하였다.
3차년에 걸친 연구수행에 대한 내용은 다음과 같다.

1. Shadow moiré 시스템 구성 및 감도향상 연구
1.1 shadow moiré 측정장치 구성
1.2 moiré 무늬의 측정 조건 및 평가
1.3 측정감도 향상을 위한 실험조건 평가

2. Phase shifting에 의한 shadow moiré의 감도 개선
2.1 Phase shifting 기법의 정립 및 장치구성
2.2 Phase shift 기법의 영상처리 및 적용

3. Talbot 효과를 고려한 shadow moiré 시스템의 개선
3.1 Talbot 효과와 영향
3.2 1/2 Talbot 영역의 확대 기법 및 영상처리 방법 개발
3.3 Global fringe shift 기법의 개발
3.4 LED를 이용한 Talbot area의 확장

4. 반도체 패키지의 Warpage 측정
4.1 Shadow moiré를 이용한 coreless 패키지의 warpage 측정
4.2 Fibered substrate와 coreless substrate의 변형거동 해석
4.3 스마트폰 내부의 와피지 측정에 적용

5. Far infrared Fizeau interferometry system의 구성과 광학부품의 측정
5.1 Fizeau interferometry system의 구성
5.2 광학부품의 형상 측정 및 결과
5.3 Far infrared의 구성