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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 이학주 |
참여연구자 | 안경준 , 이혁 , 김재현 , 좌성훈 , 김한기 , 류재철 , 안종현 , 김명호 , 김경식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-06 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600017769 |
과제고유번호 | 1415128946 |
사업명 | 제조기반산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 전사 공정.접촉 역학.나노박막.나노생산 시스템.유연 전도체. |
최종목표
o 나노 재료/소자를 위한 양산화 개념의 대면적 건식 기상박리 시스템 상용화 개발
- 450 mm 급 건식식각 장비 및 저진동 모재 이송장치
- 기상 박리모듈 시제품 개발 및 상용화 기술개발
- 박리 모듈 수율 및 균일도 향상, 파티클 제어 기술 개발
- 저가/저온 공정을 통한 기상 건식 박리용 신규 산화물 희생층 개발
- 기상 건식 박리용 신규 산화물 희생층의 식각 공정 기술개발
o 초박형 실리콘 메모리 제조 및 유연 기판으로의 대면적 전사를 위한 연속 생산시스템 기술 개발
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