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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국계측기기연구조합 |
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연구책임자 | 이충훈 |
참여연구자 | 이승우 , 이충훈 , 천권수 , 이용구 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-10 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600017819 |
과제고유번호 | 1415136004 |
사업명 | 글로벌전문기술개발(주력,신산업) |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 다층박막거울.모노크로메터.고니오메터.회절장치.증착.이종접합.Point Beam.Line Beam. |
□ 최종목표
X-선의 회절현상을 이용하여 각종 물질의 결정구조를 파악할 수 있는 다기능 분석 시스템 개발
- X-선 발생장치 개발
- 광원측/검출기측 mirrors, optics 개발
- 순차적 개발에 의한 초고분해능 7축 Goniometer 개발
- 고효율 고분해능 반도체 디텍터 회로 설계 및 모듈 개발
- User GUI 및 분석 Software 개발
- ICDD 데이터 베이스화
□ 개발내용 및 결과
o 기술적 원리 : Bragg’s law (nλ = 2d sinθ)시료에
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