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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국금속재료연구조합 |
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연구책임자 | 윤원규 |
참여연구자 | 양승호 , 최광보 , 오익현 , 박유수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-08 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201600017977 |
과제고유번호 | 1415135022 |
사업명 | 산업소재핵심기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | IT 디바이스.스퍼터링 타겟.플라즈마.핫프레스.분말야금.광전흡수분말.태양전지.CIGS 박막전지.광전흡수.금속합금타겟.광전흡수박막. |
□ 최종목표
○ IT 디바이스용 금속 스퍼터링 타겟 제조기술 개발
- 고순도 분말 제조 Plasma 공정 기술 개발
- Low Cost형 Hybrid Hot Press 공정 개발
- 고기능성 차세대 대구경 Reuse형 스퍼터링 타겟 개발
○ 고순도․고밀도 광전흡수변환용 금속 합금 타겟 개발
- 합금계 : CuIn, CuGa, CuInGa 3종
- 타겟 순도 : 99.999 % 이상
- 타겟 밀도 : 99.5 % 이상 (상대밀도)
- 타겟 크기 : 10 inch (Plate), 1.5
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