초록 ▼

최종목표
○ 고성능 전자소자를 친환경적으로 저가 대량생산하기 위한 대면적 나노구조체 제작 및 응용기술 개발
- 액상공정 기반 대면적 나노구조체를 이용한 에너지 변환소자 응용 기술 개발
- 비노광기반 대면적 나노템플렛 및 광기능성 나노구조체 제작기술 개발
- 유무기 복합 나노구조체 제작 및 대면적 패터닝 기술 개발

개발내용 및 결과
1. 액상공정 기반 대면적 나노구조체를 이용한 에너지 변환소자 응용 기술 개발
- 20인치 이상 나노 구조체 성장 장비 개발
- 20인치 이상 투명유리

최종목표
○ 고성능 전자소자를 친환경적으로 저가 대량생산하기 위한 대면적 나노구조체 제작 및 응용기술 개발
- 액상공정 기반 대면적 나노구조체를 이용한 에너지 변환소자 응용 기술 개발
- 비노광기반 대면적 나노템플렛 및 광기능성 나노구조체 제작기술 개발
- 유무기 복합 나노구조체 제작 및 대면적 패터닝 기술 개발

개발내용 및 결과
1. 액상공정 기반 대면적 나노구조체를 이용한 에너지 변환소자 응용 기술 개발
- 20인치 이상 나노 구조체 성장 장비 개발
- 20인치 이상 투명유리 기판에 길이편차 ~3.35, 밀도편차,
~1.3%, 직경편차 ~7.8%를 갖는 나노구 조체 제작
- 에너지 변환소자로 ~700mW/cm3 특성을 갖는 나노발전기 제작
- 제작된 나노 구조체를 이용하여 가스센서, field emitter, 초소수 표면, 유기태양전지 등의 전자소자를 제작하여 액상공정 기반으로 응용가능성을 확인함
- 투명고온면발열체, 압전 필름을 제작하여 기업에 기술이전을 실시함.
2. 비노광기반 대면적 나노템플렛 및 광기능성 나노구조체 제작기술 개발
- 자기조립공정을 기반으로 최대 25‘’급 대면적 나노템플렛을 제작하였음. 나노임프린트 공정을 이용하여 고생산성으로 대면적(최대 25‘’) 나노패턴을 제작하는 플랫폼 기술을 개발
- 스티치 나노임프린트 공정을 구현하였음. 이빔노광으로 제작한 소면적 마스터로부터 최대 8‘’급 대면적 나노구조체를 제작할 수 있는 플랫폼기술을 확보하였음.
- 자기조립기반 나노구조체 제작 플랫폼 기술: 나노스피어리소그래피를 이용하여 최대 25‘’급 대면적 유연/강성 템플렛을 제작
- 나노구조체 기반 나노광학제품/부품 적용 기술 개발
- 기술이전 2건 : 플라즈모닉 센서용 나노필터 어레이 제조기술(파장 분해능 2nm), LED 용 비노광 기반 나노패턴드 사파이어 기판 제조기술(LED 효율 90% 향상)
3. 유무기 복합 나노구조체 제작 및 대면적 패터닝 기술 개발
- 고정밀 제어가 가능한 대면적 레이저간섭노광 시스템을 제작하여 유무기 복합 구조체 제작 및 도광판 제작
- 유-무기 복합 포토레지스트는 PMMA기반의 유무기 하이브리드 재료를 Formulation하여 합성하였고 레이저간섭노광이 가능한 기술 확보
- 레이저간섭 장비를 활용하여 제작된 패턴을 니켈 전주 및 스템퍼 기술을 이용하여 나노패턴 도광판 제작 기술을 개발

기술개발 배경
○ 전자소자용 나노구조체는 전기, 기계, 화학, 바이오 등 다양한 분야에서 그 우수성이 입증되면서 상용화를 위한 연구가 활발히 진행되고 있으나 아직은 범용적인 양산 기술을 확보하지 못한 채 단위 소자 차원에서의 특성 향상 및 성능 평가 수준에 머무르고 있는 실정이며 기초 공정 기술 역시 각 기관별로 보안사항으로 인식되어 중소기업들을 대상으로 기술 공유가 어렵고 공개가 배타적인 상황임
○ 연구개발 인력이 취약한 중소기업들 스스로 대면적 나노구조체를 이용한 차세대 전자소자 응용 제품을 제작하기 위해서는 나노구조체를 정밀 제어할 수 있는 범용적인 핵심 공정기술의 개발과 이를 기반으로 응용 분야별로 특화된 노하우 개발이 요구되며 동시에, 이렇게 확보된 핵심공정 기술을 국가 차원에서 중소기업을 대상으로 어떻게 공유하고 보급할 것인가에 대한 실질적인 고민이 필요함

핵심개발 기술의 의의
○ 고가의 노광공정을 사용하지 않고, 저비용 대면적으로 나노구조체를 제작할 수 있는 플랫폼 기술을 개발하였음.
○ 고가의 노광장비는 대기업을 위주로 구비되어 있으므로 나노구조체의 산업화는 대기업 중심으로만 진행될 위험이 있음.
본 과제는 나노구조체 기반 제품이 중소/중견 기업을 기반으로 산업화 될 수 있는 기반을 마련했다는 점에서 매우 큰 의의가 있음.

적용 분야
고온투명면발열체, 압전필름, 반사방지 기판 및 필름, 태양전지 기판, 태양전지(반사방지막), LED 기판, 플라즈모닉 센서, 고굴절/저굴절 막 제품용 유무기 노광 소재 미세 패턴에 적용, FPD 광학필름 분야, 도광판 등 디스플레이 분야

(출처 : 기술개발사업 최종보고서 초록)

목차 Contents

• 표지 ... 1제 출 문 ... 2기술개발사업 최종보고서 초록 ... 3기술개발사업 주요 연구성과 ... 17목차 ... 39제 1 장 서론 ... 40 제 1 절 과제의 개요 ... 40제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과(기술개발 내용 및 방법) ... 44 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 44 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 45 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 50 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 64 제 5 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 65제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 67 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 67 1. 연구개발 추진일정 ... 67 2. 연구개발 추진 실적 ... 70 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 ... 115 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 132 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망(당초 기술개발 시작 시점의 조사와 변화된 것 위주로 기술 ... 133 제 4 절 고용 창출 효과 ... 137 제 5 절 자체보안관리진단표 ... 138끝페이지 ... 139