초록 ▼

1. 전도성 고분자 적용, 용액전사방식 기반 나노패터닝 공정 기술 개발
- 나노패턴 최소 선폭: <100nm 이하, 세장비: >3의 나노패턴 제조
- 무잔여층 나노임프린트 레진 적용, 나노리본 및 나노멤브레인 제작
- 타 세부과제의 바이오 소자 적용 위한 나노-마이크로 구조체 제작
2. Localized spatial 리소그래피 시스템 기술 개발
- 일반적인 현미경 수준 크기(370mm×415mm×380mm)의 시스템 제작
- 공정 Parameter 조절을 통해 최소 선폭 430 nm 의 패턴 제작<

1. 전도성 고분자 적용, 용액전사방식 기반 나노패터닝 공정 기술 개발
- 나노패턴 최소 선폭: <100nm 이하, 세장비: >3의 나노패턴 제조
- 무잔여층 나노임프린트 레진 적용, 나노리본 및 나노멤브레인 제작
- 타 세부과제의 바이오 소자 적용 위한 나노-마이크로 구조체 제작
2. Localized spatial 리소그래피 시스템 기술 개발
- 일반적인 현미경 수준 크기(370mm×415mm×380mm)의 시스템 제작
- 공정 Parameter 조절을 통해 최소 선폭 430 nm 의 패턴 제작
3. 전기수력학적 리소그래피 상용화를 위한 다층 구조체 제작 및 대면적 생산성 검증
4. 나노임프린트 패턴의 물리적/화학적 구조 제어 및 바이오 센서 적용
5. 반도체 공정을 통한 나노필터 멤브레인 제작 및 전기영동 기반 바이오물질 농축/분리 실험 수행

(출처 : 보고서 요약서 3p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요약문 ... 4
• 목차 ... 5
• 제 1장 연구 개발 과제의 개요 ... 6
• 제 1절 연구개발의 필요성 ... 6
• 제 2절 연구개발 목표 및 범위 ... 9
• 제 2장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 13
• 제 1절 연구수행 방법 ... 13
• 제 2절 연구수행 내용 및 결과 ... 17
• 제 3장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 61
• 제 1절 연구개발목표의 달성도 ... 61
• 제 2절 목표 달성여부 ... 64
• 제 4장 연구개발결과의 활용계획 ... 66
• 제 1절 연구개발결과의 활용방안 ... 66
• 제 2절 기대성과 ... 67
• 붙임. 참고문헌 ... 70
• 끝페이지 ... 71