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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)야스 |
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연구책임자 | 최명운 |
참여연구자 | 정승욱 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-10 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
과제관리전문기관 | 한국산업기술평가관리원 Korea Evaluation Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201700001302 |
과제고유번호 | 1415124562 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 태양전지.진공 증착.균질도.선형 증발원.CIGS. |
□ 최종목표
o 대면적 CIGS 태양전지용 하향식 고온 증발원 개발
- 증발원 온도범위 : 100~1700℃
- 기판 크기 : 1200 mm 이상
- 증착 속도: 150nm/min 이상
- 박막 두께 불균일도 : ±7% 이하
- 물질 사용률 : 40%이상
- 외부 물질 충진 구조
o 대면적 CIGS 태양전지용 하향식 Se 증발원 개발
- 증발원 온도범위 : 100~500℃
- 기판 크기 : 1200 mm 이상
- 증착 속도 : 500nm/min 이상
- 박막의
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