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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)나노신소재 |
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연구책임자 | 박장우 |
참여연구자 | 김미경 , 정우석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-11 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700001393 |
과제고유번호 | 1415122746 |
사업명 | 부품소재산업경쟁력향상(소재부품기술개발) |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 저온공정.신화물 반도체.원통형타겟.IGZO.OLED. |
최종목표
1) 대형 및 원통형 IGZO 타겟 개발
- 타겟 사이즈 증대; 500mm X 900mm이상
- IGZO 원통형 타겟의 길이증대; 400mm이상
- IGZO 원통형 타겟 수요기업평가(5G급 이상, SDC기준)
Mobility; 8~15㎠/Vs
Von = -2.0 ~ 0.0V
신뢰성평가; Vth 변화가 0.5V 미만
2) IGZO를 대체하는 산화물반도체 원천소재 개발
- 이동도 15이상
- PBS (정압 스트레스, Vg
목차 Contents
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