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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 김태원 |
참여연구자 | 박재철 , 손서영 , 정지윤 , 박신영 , 부성재 , 정혜정 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-02 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
연구관리전문기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO201700003201 |
과제고유번호 | 1711047072 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 이온성 액체.스퍼터링.금속나노입자.진공공정.ionic liquids.sputtering.metal nano-particles.vacuum process. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700003201 |
핵심기술
이온성 액체 적용 스퍼터링 공법을 이용한 100nm급 은 나노입자 제조를 위한 요소기술 개발
개발의 목표
◦ 이온성 액체 적용 스퍼터링 공법을 이용한 100nm급 은 나노입자 제조를 위한 요소기술 개발
- 진공 공정 및 합성 소재 최적 조합을 위한 이온성 액체 선정(10-6 Torr 이하에서 안정화된 이온성 액체: 2 건)
- Ag 나노 입자 크기 및 균일도: 100nm (±50nm)
- 공정 전· 후 이온성 액체 열분해 온도 범위 (TGA): ±10℃ at 1%
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