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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 최기봉 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700004752 |
과제고유번호 | 1711046661 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 탄성힌지.병렬 메커니즘.변위증폭 메커니즘.스틱-슬립 구동.초소형 스테이지.Flexure-hinge.parallel mechanism.amplification mechanism.stick-slip driving.micro stage. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700004752 |
ㅇ 본 과제는 탁상용 전자현미경 내에 장착할 초소형 피에조 구동 시료 스테이지를
개발하는 것으로 스테이지의 전체 체적이 40 x 40 x10 mm3 이내로 제한되며, 전자빔의 투과를 위해 스테이지의 중앙에 구멍이 존재하는 중공형인 것을 특징으로 한다.
ㅇ 피에조 구동 스테이지는 3축으로 XY 및 Θ축으로 구성되어 있으며, XY 축 스테이지 위에 Θ축이 탑재되어 있는 형태로 개발한다.
ㅇ XY 스테이지는 병렬형 탄성힌지 메커니즘으로 구성되어 있으며 동작영역은 XY에서 9㎛이상이 측정되었다.
ㅇ This research is to develop a miniaturized stage for moving sample in desk-top sized electron microscope. The total dimensions of the electron microscope is limited within 40 x 40 x10 ㎣, and a hollow hole in the center of the stage is needed.
ㅇ The stage is driven by piezo actuators with XY
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