초록 ▼

ㅇ 소프트 스템프 또는 Flexible film 스템프를 사용하여 웨이퍼 또는 Flexible substrate에 Sub-um급의 구조를 갖는 롤 스템프 제작 공정개발 및 스템프를 제작하고, 개발기술을 기반으로 기업과 연계하여 상용화를 위한 기반기술을 개발

ㅇ 롤 방식 나노 임프린트 공정에 사용되는 마스터스템프는 Raith75 전자빔 리소그래피 장비와 Interference lithography를 이용하여 제작하여 이용하거나 Step & Repeat 공정을 이용하여 복제하는 방법을 이용하여 제작함.

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ㅇ 소프트 스템프 또는 Flexible film 스템프를 사용하여 웨이퍼 또는 Flexible substrate에 Sub-um급의 구조를 갖는 롤 스템프 제작 공정개발 및 스템프를 제작하고, 개발기술을 기반으로 기업과 연계하여 상용화를 위한 기반기술을 개발

ㅇ 롤 방식 나노 임프린트 공정에 사용되는 마스터스템프는 Raith75 전자빔 리소그래피 장비와 Interference lithography를 이용하여 제작하여 이용하거나 Step & Repeat 공정을 이용하여 복제하는 방법을 이용하여 제작함.

ㅇ Flexible film 스템프는 마스터스템프와 기존 하이브리드 나노임프린트 장비를 이용하여 제작하고, 스템프의 강성을 고려하여 Ni 전주도금을 이용하는 방법과 기능성 필름을 이용하는 방법을 검토하여 적용함.

ㅇ 롤 나노임프린트 공정은 UV/Thermal 나노임프린트 기술을 개발하면서 확보된 공정기술을 기반으로 구현하고, 나노 임프린트 공정에서 발생하는 Entrapped air를 제거할 수 있는 기술을 검토하여 적용함.

ㅇ 롤방식 나노 임프린트 장비를 기업의 Needs에 따라 Display, LED 및 Solar cell 등에 적용하여 기본적인 특성실험을 구현하도록 함.

(출처 : 최종보고서)

Abstract ▼

1. Objectives of the R&D project
- Development of manufacturing technology of a roll stamp with sub-micrometer scale structures on a Si wafer or flexible substrate using a soft stamp or flexible film stamp
- Based on roll stamp manufacturing technology, we will develop a fundamental technology

1. Objectives of the R&D project
- Development of manufacturing technology of a roll stamp with sub-micrometer scale structures on a Si wafer or flexible substrate using a soft stamp or flexible film stamp
- Based on roll stamp manufacturing technology, we will develop a fundamental technology for commercialization in connection with the related companies
· roll stamp length : > 6 inches or 150 mm
· Pattern size : 150 nm ~ 1,000 nm

2. Research scope and contents
- Development of manufacturing technology to fabricate sub-micrometer scale structures by liquid transfer imprint and nano-imprint lithography of metal oxide materials
· Development of organic or inorganic material patterning process using roll nano-imprint lithography technique
· Fabrication of metallic and metal oxide nanostructures by high temperature manufacturing process
- Fabrication of sub-micrometer scale roll stamp using liquid imprint lithography and nano-imprint lithography of metal oxide materials
· Fabrication of metal oxide based roll stamps

3. Results of Research project
□ Progress compared to research objectives
Research objectives :
o Design and fabrication of a substrate roll
- Diameter : 360 mm
- Effecitve length : 780 mm
Results :
o Completed a design and fabrication the substrate roll
- The fabricated roll can be directly integrated to a mass production equipment of the company (MCK)
- Roll diameter : 360 mm, effective length : 780mm
100%(Progress)

Research objectives :
o Master and replica pattern
- Master size : 8 inches
- Replica size : > 100 mm x 100 mm
- Pattern size : 500 nm
- Pattern pitch : 1,000 nm
Results :
o Fabricated a master with nanopattern and a replica stamp of the master
- Master : Si nanopattern master with 8 inch size
- Replica stamp size : 120 mm x 130 mm
- Pattern size : 500 nm, Pattern pitch : 1,000 nm
100%(Progress)

Research objectives :
o Large area nanopatterning
- Pattern area :　> 500 mm x 500 mm
Results :
o Completed large-area patterning on film substrate by using step-and-repeat nano-imprint technique
- Pattern area : 500 mm x 500 mm
100%(Progress)

Research objectives :
o Fabrication of metal roll stamp using electroplating
- Diameter of roll : 360 mm
- Pattern area : > 100 mm
Results :
o Fabricated Ni-based nanopattern on metal roll surface by using electroplating process
- Diameter of roll : 360 mm
- Width of pattern area : 120 mm
100%(Progress)

□ Technical achievements
□ Qualitative achievements

4. Utilization plan of the research achievements
- Beyond the conventional products with micrometer scale structures, we will utilize manufacture of high precision abrasive products with nanometer scale structures
- Nanoimprint technology can be used to realize mass production of abrasive films with high precision nanostructure. Also, it can be extended to fabricate various abrasive products such as abrasive films, disks and belts
- Through the participating company, we anticipate the production and sale of high precision abrasive products in a year. The estimated size of sales will be larger than 2,500 million wons after 3 years since the first sale.
(출처 : SUMMARY)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 최종보고서 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 6
• CONTENTS ... 8
• 목차 ... 9
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 10
• 1. 연구개발의 목적 ... 10
• 2. 연구개발의 필요성 및 범위 ... 11
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 13
• 1. 기술개발 동향 및 수준 ... 13
• 2. 국내외 경쟁업체의 지식재산권 현황 ... 16
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 19
• 1. 금속 롤 스탬프 제작을 위한 공정 설계 ... 19
• 2. 기판 롤 제작 ... 21
• 3. 나노패턴 마스터 및 복제 스탬프 제작 ... 22
• 4. 나노임프린트 공정을 이용한 대면적 패터닝 공정 ... 26
• 5. 금속 롤 스탬프 제작 ... 29
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 34
• 1. 목표달성도 종합 ... 34
• 2. 관련분야에의 기여 ... 38
• 제5장 연구개발성과의 활용계획 ... 39
• 1. 정밀연마 분야의 개요 및 활용 가능성 ... 39
• 2. 상용화 전략 및 추진계획 ... 39
• 제6장 연구시설·장비 현황 ... 40
• 제7장 참고 문헌 ... 40
• 끝페이지 ... 41