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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)오디텍 |
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연구책임자 | 오동수 |
참여연구자 | 문진식 , 오동영 , 한병호 , 박성운 , 김득희 , 유기수 , 김성준 , 조승일 , 최영란 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-12 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700005629 |
과제고유번호 | 1415142491 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화(R&D) |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 실리콘 검출기.분광 감응도.다층반사방지막. |
최종목표
• 1.06um 대역에 최적화된 실리콘 포토다이오드 개발
• TO Can 패키지 개발
• 다층반사방지막 기술 개발
• 실리콘 검출기 측정 시스템 개발
개발내용 및 결과
• 4분할 구조의 N-Sub 타입 P-Up 구조의 포토다이오드 개발
• Element Gap을 100um 이하 설계 및 Cell 외각의 Guardring 설계를 통한 Crosstalk 최소화 설계된 MASK 제작
• 전기적 특성을 향상시키기 위하여 N-Channel Stop 설계를 통하여 Leakage 성능
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