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NTIS 바로가기주관연구기관 | 명성인스트루먼트 |
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연구책임자 | 김철구 |
참여연구자 | 김근식 , 박재현 , 김영준 , 임종인 , 신호용 , 김종호 , 김현훈 , 배준호 , 박현철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700006709 |
과제고유번호 | 1415141711 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화(R&D) |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 압력센서.압력전송기.차압계.내산성.유량계. |
□ 최종목표
반도체 공정라인의 불산 등 강산의 환경에 적용 가능한 “일체형 다이아프레임 플러그 구조의 내산성 압력 및 차압 전송기”를 개발하는 것이다.
□ 개발내용 및 결과
- 기존 상용제품을 분석
- 내산성 플러그 재질 선정 및 구조설계 기술을 확보
- 압력센서의 특성향상 및 신호처리부 설계 및 제작
- 일체형 플러그 제작 및 시험
- 압력전송기와 차압전송기를 개발 시험 완료
- 시험 시뮬레이터 설계 제작 완료
- 한국세라믹시술원 불산용출시험으로 안전성 확보
- Tuv
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