초록 ▼

□ 최종목표
반도체 공정라인의 불산 등 강산의 환경에 적용 가능한 “일체형 다이아프레임 플러그 구조의 내산성 압력 및 차압 전송기”를 개발하는 것이다.

□ 개발내용 및 결과
- 기존 상용제품을 분석
- 내산성 플러그 재질 선정 및 구조설계 기술을 확보
- 압력센서의 특성향상 및 신호처리부 설계 및 제작
- 일체형 플러그 제작 및 시험
- 압력전송기와 차압전송기를 개발 시험 완료
- 시험 시뮬레이터 설계 제작 완료
- 한국세라믹시술원 불산용출시험으로 안전성 확보
- Tuv

□ 최종목표
반도체 공정라인의 불산 등 강산의 환경에 적용 가능한 “일체형 다이아프레임 플러그 구조의 내산성 압력 및 차압 전송기”를 개발하는 것이다.

□ 개발내용 및 결과
- 기존 상용제품을 분석
- 내산성 플러그 재질 선정 및 구조설계 기술을 확보
- 압력센서의 특성향상 및 신호처리부 설계 및 제작
- 일체형 플러그 제작 및 시험
- 압력전송기와 차압전송기를 개발 시험 완료
- 시험 시뮬레이터 설계 제작 완료
- 한국세라믹시술원 불산용출시험으로 안전성 확보
- Tuv CE 인증 획득으로 안전성 인정
- KTL 성능검사으로 제품 성능 확인

□ 기술개발 배경
최근 반도체 장비등 독성 가스나 강산성 매체 등을 사용하는 장비에 내산성 압력전송기 등의 수요가 증가되고 있으며 대부분의 제품이 일본, 독일 등 수입 제품인 상황에서 제품을 국산화하여 가격 및 기술적 경쟁력 확보가 시급한 실정이었다.

□ 핵심개발 기술의 의의
- 제품 국산화를 통해 가격 경쟁력 확보
- 일체형 설계로 제품 안전성 향상
- 차압전송기를 응용한 Flowmeter 등 타 응용제품 가능
- 신규 수요처 발굴(고 위험 산업 장비에 적용 가능)
- 수입대체 및 대외 수출 등 향후 가치가 있다.

□ 적용 분야
- 반도체 장비 등 산업용 장비
- 석유 화학 플랜트 내식성 공정 설비
- 기타 일반 안전성이 요구되는 사이트에 압력 및 차압 측정이 요구되는 분야에 적용된다.

( 출처 : 초록 5p )

목차 Contents

• 표지 ... 1산단R&BD역량강화사업 지원사업 최종보고서 ... 2제출문 ... 3최종보고서 초록 ... 4기술개발사업 주요성과 ... 7목차 ... 10제 1 장 서론 ... 11 제 1 절 과제의 개요 ... 11제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과 ... 14 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 14 제 2 절 개발 내용 및 개발 범위 ... 17 제 3 절 수행 결과의 보안등급 ... 52 제 4 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리현황 ... 53제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 54 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 54 1. 연구개발 추진 일정 ... 54 2. 연구개발 추진 실적 ... 55 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 ... 56 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 57 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 58 제 4 절 고용 창출 효과 ... 59 제 5 절 자체보안관리진단표 ... 60끝페이지 ... 60