초록 ▼

2. 개발내용 및 결과

〇 고 분해능 분광기 설계 및 제작
- Panel Thickness 0.1~1 mm 범위의 측정이 가능한 분광기 설계 및 제작
- FFT(Fast Fourier Transform)를 이용한 Spectrum분석 알고리즘 구현

〇 레이저 선정 및 제작
-. 넓은 파장 폭을 갖는 레이저 선정을 위한 SLD 및 Anti Reflected Laser Diode 비교 Test

〇 간섭계 설계 및 제작
- 마이켈슨 간섭계의 원리를 응용한 두께측정기용 간섭계 설계

2. 개발내용 및 결과

〇 고 분해능 분광기 설계 및 제작
- Panel Thickness 0.1~1 mm 범위의 측정이 가능한 분광기 설계 및 제작
- FFT(Fast Fourier Transform)를 이용한 Spectrum분석 알고리즘 구현

〇 레이저 선정 및 제작
-. 넓은 파장 폭을 갖는 레이저 선정을 위한 SLD 및 Anti Reflected Laser Diode 비교 Test

〇 간섭계 설계 및 제작
- 마이켈슨 간섭계의 원리를 응용한 두께측정기용 간섭계 설계 및 제작
- Beam Splitter에 의해 분리된 Beam의 정밀한 Align 구현

〇 자동화 구현을 위한 Chamber부 제작
- 자동화 Cassette의 자동화 구현올 위한 Chamber 설계 및 제작(EDM System 장착을 고려)
- 불산환경에서의 구동부 Damage 최소화 구현

〇 자동화 Cassette 개발
- ATS(Automatic Transfer System) 와 연동된 구조 설계
- 자동 반송시 Display Panel 파손 방지 기술 확보

〇 두께측정기 설계 및 제작
- 양산에 적 합한 Compact Type의 분광기 및 간섭계 설계
- 개발된 분광기, 레이저, 간섭계를 이용하여 Display Panel의 두께측정이 가능한 System 제작 Panel이 이동하면서 두께측정 가능한 Program 구현

〇 Cassette ATS(Automatic Transfer System) 설계 및 제작
- 박형화 공정에 적용가능한 Cassette ATS(Automatic Transfer System) 설계 및 제작
- 투입/취출 Kobot 및 자동화 Cassette와 연동될 수 있는 구조 구현

〇 두께측정기를 응용한 EDM System 개발 가능성 검토
- 두께측정기를 응용하여 수직으로 Cassette에 적재된 Panel의 두께측정 가능성 확인

3. 기대효과(기술적 및 경제적 효과)
〇 실시간 Monitoring이 가능한 고 생산성 Smart형 Display Panel 박형화 장비개발이 완료되면 평판 디스플레이 시장에서의 상품주도적인 시장개척을 가능하게 하는 기술적 효과 외에 태양전지판 및 기타 평판 유리 제품의 슬리밍 관련 시장에 기술적 파급에 대한 긍정적 기여가 예상되고 자동화 기술 기반의 기술개발로 산업 위해 요소의 저감 및 두께 측정 시스템의활용범위를 확장시켜, 개발 완료 후 급속한 시장팽창과 더불어 관련 기업의 비약적인 매출증대에 따른 긍정적 파급효과가 기대되며, 관련 시장만으로 대규모의 신규 산업발전 효과가 기대되며, 경쟁에서의 중요한 기반기술의 확보로 해당 업계에 국한되는 것이 아닌 평판 디스플레이 산업 전반에 국제적인 기술적 위상 재고 및 산업소득의 창출 효과가 기대된다.

4. 적용분야
〇 본 개발 과제 수행을 통하여 확보한 공정 기술과 두께측정기를 적용할 수 잇는 분야는 다음과 같다.
- 대면적 Display Panel Slimming 양산 적용
- AM OLED/PM OLED Slimming 양산 적용
- Glass Etching 관련 실시간 두께즉정 System
- 디스플레이 외의 유리，반도체，태양전지 산업의 두께측정기 적용
- 웨이퍼내의 물질특성(두께，성분 등)을 분석하는 장비
- 태양광 산업의 잉곳/웨이퍼의 두께측정

(출처:초록 p.4)

목차 Contents

• 표지 ... 1생산기술사업화 지원사업 최종보고서 ... 2제출문 ... 3최종보고서 초록 ... 4목차 ... 7표목차 ... 8그림목차 ... 8제 1 장 서 론 ... 10 제 1 절 대상 기술의 개요 및 필요성 ... 10 1. 대상기술의 개요 ... 10 2. 개발의 필요성 ... 11 제 2 절 기술개발 효과 및 활용방안 ... 17 1. 기술개발 효과 ... 17 2. 개발기술 활용방안 ... 18 제 3 절 관련기술 현황 ... 19 1. 국내·외 관련기술의 현황 ... 19제 2 장 개발목표 및 개발내용 ... 22 제 1 절 기술개발 목표 ... 22 1. 기술개발 목표 ... 22 2. 계획 대비 실적 ... 22 제 2 절 기술개발 내용 ... 23 1. 기술개발 추진일정 ... 23 2. 기술개발 내용 ... 24제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 51 제 1 절 성과요약 ... 51 1. 정량적 성과 ... 51 2. 정성적 성과 ... 53 3. 고용창출 효과 ... 53 4. 매출 예상 ... 53 제 2 절 적용분야 및 기대효과 ... 54 1. 적용분야 ... 54 2. 기대효과 ... 54 3. 판로확보 및 마케팅 전략 ... 55끝페이지 ... 58