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NTIS 바로가기주관연구기관 | 케미시스 |
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연구책임자 | 정순택 |
참여연구자 | 강나희 , 유지혜 , 임주묵 , 임창우 , 김종대 , 허정섭 , 천승호 , 강동현 , 김종대 , 이영림 , 안일용 , 노병술 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201700006989 |
과제고유번호 | 1415117762 |
사업명 | 산업집적지경쟁력강화 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 재생슬러리.히트싱크.다공성.SiC.Filtration. |
1. 최종목표
SiC와 Oil을 혼합한 슬러리를 절삭재로 사용하는 Wafering 공정에서 최종적으로 발생하여 폐기물로써 처리되고 있는 슬러지에서 SiC를 분리 제조하여 재생 SiC powder를 제조하고 그 SiC Powder를 활용하여 평판TV등의 주요 전자부품(IC)에서 발생하는 열을 효과적으로 방열할 수 있는 다공성 SiC 히트싱크 제조
2. 개발내용 및 결과
가. 슬러지에서 SiC를 분리 및 정제하여 재생 SiC powder 제조 기술을 개발:
1) 함량 98.5wt% 재생 SiC Powde
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