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태양광 Wafering 재생 슬러리를 이용한 SiC 히트싱크 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 케미시스
연구책임자 정순택
참여연구자 강나희 , 유지혜 , 임주묵 , 임창우 , 김종대 , 허정섭 , 천승호 , 강동현 , 김종대 , 이영림 , 안일용 , 노병술
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2012-06
과제시작연도 2011
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201700006989
과제고유번호 1415117762
사업명 산업집적지경쟁력강화
DB 구축일자 2017-10-12
키워드 재생슬러리.히트싱크.다공성.SiC.Filtration.

초록

1. 최종목표
SiC와 Oil을 혼합한 슬러리를 절삭재로 사용하는 Wafering 공정에서 최종적으로 발생하여 폐기물로써 처리되고 있는 슬러지에서 SiC를 분리 제조하여 재생 SiC powder를 제조하고 그 SiC Powder를 활용하여 평판TV등의 주요 전자부품(IC)에서 발생하는 열을 효과적으로 방열할 수 있는 다공성 SiC 히트싱크 제조  

2. 개발내용 및 결과
가. 슬러지에서 SiC를 분리 및 정제하여 재생 SiC powder 제조 기술을 개발:
1) 함량 98.5wt% 재생 SiC Powde

목차 Contents

  • 표지 ... 1생산기술사업화 지원사업 최종보고서 ... 2제출문 ... 3최종보고서 초록 ... 4목차 ... 5표목차 ... 7그림목차 ... 7제 1 장 기술개발의 목적 및 필요성 ... 11 제 1 절 기술개발의 필요성 ... 11 제 2 절 기술개발의 목적 및 범위 ... 17 1. 슬러지로부터 SiC Powder의 제조 ... 17 2. SiC원료에 열전도도가 우수한 금속화합물이 함유된 방열재 조성개발 ... 18 3. SiC Heat Sink 개발 및 적용연구 ... 18제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 20 제 1 절 슬러지로부터 SiC Powder의 제조 ... 20 1. 슬러리 리사이클링 시스템 ... 20 2. 슬러지 ... 21 3. SiC 분리, 정제 Process 개요 ... 24 4. 수세 Process ... 25 5. Filtration 장치의 설계 및 제작 ... 36 6. 건조 Process ... 42 제 2 절 SiC Heat Sink 조성개발 ... 50 1. 주재료에 대한 소결특성 및 원료 문헌 분석 ... 50 2. 원료조합 및 열처리 ... 52 3. 3점 꺾임강도 시험 (Instron-만능재료시험기) ... 57 4. 3점 꺾임강도 후 미세구조관찰 ... 58 5. 기공율 및 기공분포 (Mercury Porosimeter- AutoPore IV 9500 V1.03) ... 58 6. Multimodal 형 조합표 ... 60 7. 900℃ 저온 소결체 결과 ... 60 제 3 절 SiC Heat Sink 특성평가 ... 61 1. 열처리 후 시편의 흡수율(%) ... 61 2. 열처리 후 시편의 기공분포 ... 62 3. 열처리 후 시편의 파단면 미세구조 (x200) ... 65 4. 열처리 후 시편의 결합상태 미세구조 (x 1,000) ... 67 5. LED 모듈 방열실험 ... 68제 3 장 기술개발 결과 ... 70 제 1 절 계획목표 대비 달성도 ... 70 1. 정량적 목표항목 달성도 ... 70 2. 입도분포 ... 70 3. 미분함량 ... 73 4. 열처리 후 시편의 밀도(g/cm3) ... 73 5. 열처리 후 시편의 기공율(%) ... 74 6. 열처리 후 시편의 꺽임 강도 : 3점 꺾임강도(kgf/cm2) ... 74 7. 열전도도(W/mk) ... 75 제 2 절 기술적 성과 ... 77 제 3 절 경제적 성과 ... 80제 4 장 참고문헌 ... 83끝페이지 ... 83

표/그림 (95)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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