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Kafe 바로가기주관연구기관 | SKC solmics |
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연구책임자 | 안병수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-03 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600017251 |
과제고유번호 | 1415135282 |
사업명 | 소재부품기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 소결.고순도.강도.SiC 분말.반응소결 SiC.상압소결.비저항.열전도도.SiC. |
최종목표
• 가공성 / 기능성이 향상된 고순도 및 고강도 SiC 소재개발
개발내용 및 결과
• 5N 급 600mm 고순도 RBSC 소재 개발
• 대구경(600mm) SiC 소재 개발
• 고기능성 가압 및 상압 SiC 소재 개발
• 5N 급 고순도 가압 SiC 소재개발
• 고능률 연삭공구 및 초정밀 연삭가공 기술개발
• 5N 급 대구경 제품의 CVD SiC 균일 코팅 및 Bulk CVD-SiC 제조 기술
기술개발 배경
• 대부분의 SiC 부품을 해외에서 수입하고 있
최종목표
• 가공성 / 기능성이 향상된 고순도 및 고강도 SiC 소재개발
개발내용 및 결과
• 5N 급 600mm 고순도 RBSC 소재 개발
• 대구경(600mm) SiC 소재 개발
• 고기능성 가압 및 상압 SiC 소재 개발
• 5N 급 고순도 가압 SiC 소재개발
• 고능률 연삭공구 및 초정밀 연삭가공 기술개발
• 5N 급 대구경 제품의 CVD SiC 균일 코팅 및 Bulk CVD-SiC 제조 기술
기술개발 배경
• 대부분의 SiC 부품을 해외에서 수입하고 있는 상황으로 SiC 소재 시장에서 경쟁력을 확보하고 시장선점을 위해서는 체계적인 고순도 SiC 소재 기술개발이 필요
• 차세대 반도체/LED 공정에 사용되는 제품은 공정에 따라 요구하는 SiC 특성이 상이하기 때문에 특성에 부합하는 고순도 SiC 제조 공정 기술개발이 요구
• SiC 소재의 대구경화 개발은 해당 제품의 선점 기회 뿐만 아니라 반도체, LED, 신재생에너지, 자동차산업 등으로 적용될 수 있어 국내 산업 전반에 시너지 효과를 이룰 것으로 기대
핵심개발 기술의 의의
• 고순도 SiC 소재 제조기술은 아직 개발되지 않은 상태이나 Si, SiO2, 고순도 카본 제조를 통한 습득된 기술을 응용하여 가능하리라 예상되며 기술의 완성시 시장을 선도할 수 있는 좋은 기회가 됨
• 450mm 웨이퍼 공정 채택에 따른 반도체 제조용 장비의 부품시장을 선점하여 지속적인 매출창출이 가능하고 장비 국산화 및 부품 수출을 통해 전세계적인 반도체 장비용 부품 시장의 주도권을 잡을 수 있는 좋은 기회가 될 것으로 예상
• 고순도 SiC 제품을 생산하기 위한 기반 기술이 확보된다면 세라믹 선진국인 일본의 기술을 뛰어넘는 원천기술까지 확보 할 수 있는 계기가 될 수 있음
• 반도체 공정에 사용되는 세라믹 소모품의 국산화율은 60%정도이지만, 고난이도의 제품에서는 외국 메이저 업체가 선점하고 있기 때문에, 국산화율을 높일수록 수입대체 효과를 볼 수 있을 것으로 판단
적용 분야
• 반도체 / LED 분야 / 신재생에너지 / 자동차산업
(출처 : 기술개발사업 최종보고서 초록)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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