초록 ▼

□ 핵심기술
초박형 공정 모듈 및 스핀들 모터 및 기타 시스템

□ 최종목표
■ 반도체 세정 장비에 적용하기 위한 700mm 이하 높이의 초박형 공정 모듈 개발
■ 정말한 유량 및 약액 온도 제어 기능 구현

□ 개발내용 및 결과
■ 산과 알칼리 둥 다양한 약액의 기체와 액체를 분리 배출하는 구조의 Bow 개발
■ 박형으로 3,000rpm까지 회전이 가능하고 상하 이송이 가능한 스핀들 개발
■ 스핀들 회전에 필요한 박형 모터 개발 및 기판 파지 시스템 개발
■ 다양한 약액을

□ 핵심기술
초박형 공정 모듈 및 스핀들 모터 및 기타 시스템

□ 최종목표
■ 반도체 세정 장비에 적용하기 위한 700mm 이하 높이의 초박형 공정 모듈 개발
■ 정말한 유량 및 약액 온도 제어 기능 구현

□ 개발내용 및 결과
■ 산과 알칼리 둥 다양한 약액의 기체와 액체를 분리 배출하는 구조의 Bow 개발
■ 박형으로 3,000rpm까지 회전이 가능하고 상하 이송이 가능한 스핀들 개발
■ 스핀들 회전에 필요한 박형 모터 개발 및 기판 파지 시스템 개발
■ 다양한 약액을 분사하기 위한 박형 챔버 구조에 적정한 노즐 시스템 개발
■ 초박형 공정 챔버 모둘의 제작 및 평가

□ 기술개발 배경
■ 반도체 세정 장비는 투자비를 줄이기 위해 작고 싸게 만드는 것이 향후 추세임
■ 이를 위해 공정 챔버 높이를 초박형으로 제작해야 하며, 관련 구조에 대한 개발이 필요
■ 박형 고속회전 모터, 노즐 시스템, 액액공급 노즐, 기타 다양한 관련 기술이 개발

□ 핵심개발 기술의 의의
■ 반도체 세정 공정모듈은 신규 개발제품으로, 추후 기존 장비사에 시스템으로 판매할 수 있으며, 자체 장비로도 제작이 가능함

□ 적용 분야
반도체 세정 장비, 케미컬 공급 시스템, 기타
(출처 : 최종보고서 초록 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1산단R&BD역량강화사업 지원사업 최종보고서 ... 2제출문 ... 3산단R&BD역량강화사업 최종보고서 초록 ... 4기술개발사업 주요 연구성과 ... 7목차 ... 10제 1 장 서 론 ... 11 제 1 절 과제의 개요 ... 11제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과(기술개발 내용 및 방법) ... 13 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 13 제 2 절 개발 내용 및 개발 범위 ... 13 제 3 절 수행 결과의 보안등급 ... 16 제 4 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 16제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 17 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 17 가) 연구개발 추진 일정 ... 17 나) 연구개발 추진 실적 ... 18 다) 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 ... 32 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 33 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 33 제 4 절 고용 창출 효과 ... 40 제 5 절 자체 보안관리 진단표 ... 41첨부1. 한국생산기술연구원 최종보고서 ... 42첨부2. 이엠씨 최종보고서 ... 54첨부3. 개발품 사진 ... 72첨부5. 도면 및 설계도 ... 73끝페이지 ... 75