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카탈리틱 탐침과 컷오프 탐침을 이용한 공정 플라즈마의 특성 분석
Characterization of processing plasma with catalytic and cutoff probes through joint research between Korea and Slovenia 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 장홍영
참여연구자 김대웅 , 유광호 , Miran Mozetic
보고서유형2단계보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2015-10
과제시작연도 2014
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
등록번호 TRKO201700009188
과제고유번호 1711015687
사업명 국가간협력기반조성(비ODA)
DB 구축일자 2017-11-04
키워드 가스 방전.플라즈마 프로세싱.카탈리틱 탐침.컷오프 탐침.플라즈마 진단.gas discharge.plasma processing.catalytic probe.cutoff probe.plasma diagnostics.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201700009188

초록

본 국제 공동 연구를 바탕으로 하여 컷오프 탐침 및 카탈리틱 프로브의 의 측정 변수에 대한 이해를 넓히고 각국 연구진 간의 국제 협력 연구를 증진함.

슬로베니아 연구진에 컷오프 프로브의 우수성을 알리고 연구 활용에 대한 조언 및 공동 연구 수행 및 슬로베니아 연구진으로부터 카탈리틱 탐침의 활용 방법에 대한 교류 수행 및 이에 대한 실험적인 활용 연구 수행 함.

공동 연구 결과를 바탕으로 하여 활발한 상호 방문, 국제 학회 참석 및 국제 교류 함.

공동 연구를 바탕으로 하여 해외 저널에 논문 2편

Abstract

-. Purpose
The objectives of the project are to make cooperative works and to educate and train the researchers of each institution. Both Korean and Slovenian groups have their own distinguished diagnostic techniques. We are expecting a synergy effect in the cooperation from the knowledge and tec

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 요약서 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • SUMMARY ... 8
  • CONTENTS ... 10
  • 목차 ... 11
  • 제1장 국제 공동 연구협력 과제의 개요 ... 12
  • 제 1절 연구개발의 필요성 ... 12
  • 제 2절 연구개발의 범위 및 목적 ... 12
  • 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 13
  • 제 1절 연구개발대상 기술의 국내·외 기술 현황 ... 13
  • 제 2절 본 연구 결과의 국내·외적 위치 ... 13
  • 제3장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 14
  • 제 1절 컷오프 프로브 관련 공동 연구 ... 14
  • 제 2절 카탈리틱 프로브 관련 공동 연구 ... 16
  • 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 18
  • 제 1절 연차별 목표 달성도 및 공동 연구 성과 ... 18
  • 제5장 협력기반조성사업 과제를 통한 공동 연구 성과 및 협력 증진 내용 ... 19
  • 끝페이지 ... 20

표/그림 (7)

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참고문헌 (25)

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