초록 ▼

1. 연구개발목표 및 내용
● 대면적 영상 센서용 기본 개념구조 설계 및 픽셀 최적화 기술개발
● CMOS 대면적 영상센서 설계, 제작 및 평가
● 광계수형 Geiger-mode APD 센서 설계, 제작 및 평가

2. 연구결과
● 대면적 센서용 Photo Diode 및 APS 구조 최적화
● 대면적 센서에 적용 가능한 고성능 신호처리 회로 설계
● 대면적 영상센서 1차 칩 제작 및 성능 평가
● 대면적 영상센서 2차 칩 설계
● 대면적 영상처리용 Data acqu

1. 연구개발목표 및 내용
● 대면적 영상 센서용 기본 개념구조 설계 및 픽셀 최적화 기술개발
● CMOS 대면적 영상센서 설계, 제작 및 평가
● 광계수형 Geiger-mode APD 센서 설계, 제작 및 평가

2. 연구결과
● 대면적 센서용 Photo Diode 및 APS 구조 최적화
● 대면적 센서에 적용 가능한 고성능 신호처리 회로 설계
● 대면적 영상센서 1차 칩 제작 및 성능 평가
● 대면적 영상센서 2차 칩 설계
● 대면적 영상처리용 Data acquisiton Board 및 SMART GUI 프로그램 개발 및 제작

3. 기대효과 및 활용방안
● X선을 이용한 다양한 분야에 활용할 수 있으며 2차 대면적 영상센서의 품질 및 성능이 좋을 경우 바로 Mammography나 산업용 제품으로서 사용이 가능
● 대면적 센서를 제작하는데 있어 필요한 공정기술들로 인해 국가 기반 사업젓 하나인 반도체 사업의 발전에 기여

(출처 : 보고서 요약서 3p)

Abstract ▼

●. Result of Study
Development of technique for optimizing a pixel of a large format image sensor
▪Design of a basic structure of photodiode : n+/p-sub, nwell/p-sub, double juction
▪Optimization of efficiency for a visible ray with 550nm

Development of technique for signal processing

●. Result of Study
Development of technique for optimizing a pixel of a large format image sensor
▪Design of a basic structure of photodiode : n+/p-sub, nwell/p-sub, double juction
▪Optimization of efficiency for a visible ray with 550nm

Development of technique for signal processing circuit of large format image sensor
▪Design of signal processing circuit with Correlated double sampling circuit and ADC(12 bit or more)
▪Analysis of signal delay problems when large format data is transferred & Design and fabrication of high speed Column parallel ADC
▪Design and fabrication of ROIC circuit for signal processing of 30 FPS or more

Design and fabrication of a basic structure of a large format CMOS image sensor
▪Design and evaluation of prototype of large format CMOS image sensor : 1st
▪Design and evaluation of prototype of large format CMOS image sensor : 2nd

Design and fabrication of a photo-counting Geiger-mode APD
▪ Design and make Test chip that is for CMOS Geiger-mode APD and signal process circuit

(출처 : SUMMARY 6p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 6
• CONTENTS ... 8
• 목차 ... 9
• 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 10
• 제 1 절 연구개발의 목적 ... 10
• 1. 연구개발의 필요성 ... 10
• 2. 연구개발의 목표 ... 11
• 제 2 절 기존 연구와의 차별성 ... 12
• 제 2 장 국내외 기술 개발 현황 ... 13
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 15
• 제 1 절 X-선 CMOS 영상센서 최적화 기술 개발 ... 15
• 1. X-선 CMOS 영상 센서 개요 ... 15
• 2. 포토다이오드 및 픽셀 구조 최적화 ... 17
• 3. 고성능 신호처리회로 설계 ... 44
• 4. Long Metal Wire Propagation Delay ... 68
• 5. 1차 테스트 센서 제작 및 특성평가 환경 구축 ... 72
• 제 2 절 대면적 X-선 CMOS 영상센서 설계 및 제작 ... 76
• 1. 대면적 고성능 X-선 영상센서 개념 설계 ... 76
• 2. 대면적 고성능 X-선 영상 센서 수광부 설계 ... 80
• 3. Readout Integration Circuit 설계 및 결합 ... 85
• 4. Data Acquisition Board 설계 ... 95
• 5. 확장형 대면적 X-선 영상 장치를 위한 결합 기술 및 장치 ... 108
• 제 3 절 광계수형 CMOS Geiger-mode APD 설계 ... 110
• 1. CMOS Geiger-mode APD 설계 ... 110
• 2. 신호처리회로설계 및 테스트 칩 제작 ... 125
• 3. CMOS 공정을 이용한 GAPD 및 신호처리회로 제작 ... 133
• 4. TDC설계를 위한 Time Pick Off 회로의 개념 연구 ... 138
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 143
• 제 1 절 평가의 착안점 및 척도 ... 143
• 제 2 절 연구범위 및 연구수행 방법 ... 143
• 제 3 절 연구개발 수행내용 및 목표 달성도 ... 147
• 제 4 절 대외 기여도 ... 148
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 150
• 제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 151
• 제 7 장 참고문헌 ... 152
• 끝페이지 ... 153