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NTIS 바로가기주관연구기관 | 부산대학교 Busan National University |
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연구책임자 | 김창석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-06 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700010329 |
과제고유번호 | 1711024510 |
사업명 | 신진연구자지원 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 레이저.품질관리.공정.3차원 영상.비접촉.표면 검사.미세구조.모드잠금.반도체.Laser.Quality management.Process.3D Imaging.Noncontact.Surface Inspection.Fine Structure.Mode locking.Semiconductor. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700010329 |
연구의 목적 및 내용
현재의 스위핑 레이저 기반 3차원 표면 검사 방식은 1 micron 이하의 미세구조 측정이 불가능하므로, 새로운 위상안정 스위핑 레이저 광원 기술을 바탕으로 극미세구조의 실시간 3차원 영상화 기술을 개발한다.
- 1550 nm 영역에서 발진하여 100 kHz 급 이상의 고속 반복률을 가지는 위상안정 스위핑 레이저의 개발
- 위상 정보 기반의 10 nm 급 이하의 영상 깊이 분해능과 깊이 영역 1 micron 급 이상을 달성하는 3차원 영상화 기기의 개발
- 고속 영상화 하이브리드 신호처리
Purpose&contents
We develope of real-time 3 dimensional surface profiling technology based on wavel ength-swept laser because the current technology with swept laser has a limitation of 1 micrometer resolution;
- Phase stable laser source with a 1550 nm range and 100 kHz repetition rate
- P
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