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NTIS 바로가기주관연구기관 | 유피케미칼 UP Chemical |
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연구책임자 | 고원용 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-04 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201800023190 |
과제고유번호 | 1711033668 |
사업명 | 연구개발특구육성 |
DB 구축일자 | 2018-06-30 |
키워드 | 유기금속 화학증착.원자층 증착.구리 배선.씨앗층.BEOL공정.반도체 소자. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800023190 |
1. 연차목표
- 리간드 및 구리 전구체 대량 합성법 개발
2. 개발내용 및 결과
주관기관: ㈜유피케미칼
⋅리간드 양산 공정 개발
(개선된 양산공정으로 합성 진행)
⋅구리 전구체 대량합성법 개발
(0.5kg 규모의 양산가능)
⋅품질 균일화 및 신뢰성 확보 연구
(연구진행중)
⋅1차 시제품 제작
(1차 시제품 결과 확보)
참여기관: 한국화학연구원
⋅리간드 대량합성법 개발
⋅구리 ALD 전구체 개량 연구
⋅구리 배선용 전구체 개발
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