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[국가R&D연구보고서] 상용화가 가능한 고신뢰성, 고안정성의 고성능 탄소나노튜브 차세대 반도체 소자 개발 및 특성분석 플랫폼 개발
Development and characterization of a highly reliable and stable carbon n anotube transistor for commercialized semiconductor devies 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 국민대학교
KookMin University
연구책임자 최성진
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2016-10
과제시작연도 2015
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
연구관리전문기관 한국연구재단
National Research Foundation of Korea
등록번호 TRKO201700010481
과제고유번호 1711029355
사업명 신진연구자지원
DB 구축일자 2017-10-12
키워드 탄소나노튜브.트랜지스터.고신뢰성.차세대 반도체 소자.상용화.모델링.디스플레이 구동칩.잉크젯 프린팅.융합 플랫폼.Carbon nanotubes.Transistor.High reliability.Advanced semiconductor devices.Commercialization.Modeling.Display driving circuit.Ink-jet printing.Unified platform.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201700010481

초록

선행연구로 초소형, 고성능 탄소나노튜브 기반의 반도체 소자 제작을 통해 이미 세계적인 탄소나노튜브 기반의 반도체 소자 제작 기술을 검증받았으며, 이를 기반으로 본 연구인 “상용화 가능한 고신뢰성, 고안정성, 고성능의 탄소나노튜브 차세대 반도체 소자 개발 및 특성분석 플랫폼 구현”을 수행하였으며 그 내용을 요약하면 다음과 같다.
▶ 99.9% 반도체성 탄소나노튜브 기반의 반도체 소자 제작
▶ 나노메쉬 구조를 이용한 고신뢰성, 고안정성의 탄소나노튜브 기반 반도체 소자 제작 및 대량생산을 위한 공정 방법 개발 및 검증

Abstract

In the previous research, we developed “high reliability, development of carbon nanotube for advanced semiconductor device and implementation of characteristic analysis platform“.
▶ Manufacture of electronic devices based on 99.9% semiconducting carbon nanotubes
▶ Development of high reliabili

목차 Contents

  • 표지 ... 1목차 ... 2연구계획 요약문 ... 3연구결과 요약문 ... 4 한글요약문 ... 4 SUMMARY ... 5연구내용 및 결과 ... 6 1. 연구개발과제의 개요 ... 6 2. 국내외 기술개발 현황 ... 7 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 8 4. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 25 5. 연구결과의 활용계획 ... 26 6. 연구과정에서 수집한 해외 과학기술정보 ... 28 7. 참고문헌 ... 37 8. 연구성과 ... 39 9. 국가과학기술지식정보서비스에 등록한 연구시설‧장비 현황 ... 46 10. 연구개발과제 수행에 따른 연구실 등의 안전조치 이행실적 ... 46 11. 기타사항 ... 46끝페이지 ... 47

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