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NTIS 바로가기주관연구기관 | 고려대학교 Korea University |
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연구책임자 | 김성범 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-06 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700010687 |
과제고유번호 | 1711023139 |
사업명 | 신진연구자지원 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 품질.제조공정.가상계측기.빅데이터.다변량공정제어.공정이상탐지.Quality.Manufacturing Process.Virtual Metrology.Big Data.Multivariate Process.Diagnosis. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700010687 |
□ 연구의 목적 및 내용
반도체 제조공정에서의 고품질 달성은 반도체 산업의 경쟁력으로 직결된다. 제조 빅 데이터 공정에서 생성되는 대용량의 데이터에는 품질 향상을 위한 유용한 정보를 담고 있으며, 이에 대한 정밀분석을 수행하는 것은 효과적인 품질예측 및 공정관리를 위해서 반드시 선행되어야 한다. 따라서 본 연구팀은 가상계측시스템을 이용하여 빅 데이터 제조공정 불량예측 및 이상 진단 기법을 개발하는 것을 목표로 3단계의 연구를 수행하였다. 1차년도에는 반도체 공정에서 나오는 수많은 데이터를 효과적으로 분석하기 위한 기반이 되는
□ Purpose&contents
It is important to maintain high quality of products in order to survive in the highly competitive environment. The main aim of the proposed research is to design the virtual metrology system to identify the defects and diagnosis their causes. The proposed research is composed
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