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[국가R&D연구보고서] 플라즈몬 효과를 이용한 변형률 측정법 개발 및 초고신뢰성 보장을 위한 전도성 박막의 기계/전기적 복합 특성 평가 기술 개발
Development of strain measurement method with plasmon effect and evaluation technology for electromechanical characteristics of conductive thin films under ultra high reliability(UHR) 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술원
Korea Advanced Institute of Science and Technology
연구책임자 이순복
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2016-10
과제시작연도 2015
주관부처 미래창조과학부
Ministry of Science, ICT and Future Planning
연구관리전문기관 한국연구재단
National Research Foundation of Korea
등록번호 TRKO201700011685
과제고유번호 1711030660
사업명 중견연구자지원
DB 구축일자 2017-10-28
키워드 플라즈몬 효과.금속 박막.비정질금속.가속수명시험.초고신뢰성.기계/전기적 특성.2D 물질.유연 전자 소자.원자층 증착.Plasmon effect.Metal thin films.Metallic glass.Accelerated life test.Ultra High Reliability.Electromechanical characteristics.2D materials.Flexible electronic device.Atomic layer deposition(ALD).
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201700011685

초록

박막 뿐만 아니라 큰 구조물에서 변형률 측정을 위한 플라즈몬 효과를 이용한 변형률 게이지 개발에 대한 초기 아이디어를 제시했다. 그리고 전도성 박막의 온도별 거동의 변화를 분석했다. 실제 전도성 박막이 사용될 수 있는 전류 환경 하에서 전기/기계적 거동 변화에 대한 결과를 얻었다.
● 플라즈몬 효과를 이용한 나노배열 박막의 변형률 측정법 검증 및 최적화
● 전도성 박막의 고온 하에서 기계/전기적 복합 물성 측정 및 분석
● 전도성 박막에 대한 고온 피로시험 수행 및 파괴메커니즘 규명
● 전도성 박막의 기계/전기

Abstract

Core ideas on the development of strain gauges using plasmon effects for strain measurements in various structures were investigated. And the change of the behavior of conductive thin films by temperature was analyzed. The results of the electrical / mechanical behavioral change under the current en

목차 Contents

  • 표지 ... 1목차 ... 3연구계획 요약문 ... 4연구결과 요약문 ... 5 한글요약문 ... 5 SUMMARY ... 6연구내용 및 결과 ... 7 1. 연구개발과제의 개요 ... 7 2. 국내외 기술개발 현황 ... 11 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 14 4. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 45 5. 연구결과의 활용계획 ... 46 6. 연구과정에서 수집한 해외 과학기술정보 ... 47 7. 주관연구책임자 대표적 연구실적 ... 53 8. 참고문헌 ... 54 9. 연구성과 ... 57 10. 국가과학기술지식정보서비스에 등록한 연구시설.장비 현황 ... 59 11. 연구개발과제 수행에 따른 연구실 등의 안전조치 이행실적 ... 59 12. 기타사항 ... 59별첨1 대표연구성과 ... 60별첨2 세부 목표 관련 증빙 ... 73끝페이지 ... 75

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