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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 산학협력단 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 이영미 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-05 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700013376 |
과제고유번호 | 1345238355 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2017-11-18 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700013376 |
멀티 비트 비휘발성 메모리 소자 개발에 있어 상변화 재료에 대한 물성 분석 기술 개발은 소자 개발 방향 및 모델링, 제어메커니즘, 기반 특성 평가 기술 등을 수행할 수 있는 중요한 핵심 요소이다. PRAM 소자의 기반 물질인 상변화 물질은 작은 온도 상에서 비정질과 결정질의 구조 변화와 더불어 저항 값의 급격한 변화 특성을 가지고 있다. 이러한 상변화 물질을 이용한 PRAM 소자 개발을 위해서는 상변화 현상의 열, 응력/소자 모델링 및 제어 메커니즘에 대한 이해가 필수적이며, 이를 토대로 소자로서의 집적화 기술을 위한 단위 공정 및
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