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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 김태성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700014423 |
과제고유번호 | 1345239435 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2017-11-25 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700014423 |
본 과제에서 다양한 그래핀 CVD 공정에 대해 공통적으로 적용할 수 있는 공정 최적화 기법을 제시하기 위한 유체역학적 평가/분석 및 개선에 관한 연구를 진행하였음. 본 연구진은 다음과 같은 CVD 그래핀의 생산 전 주기에 걸친 유체역학적 분석을 통한 그래핀 공정의 최적화와 새로운 그래핀 품질 향상 기법을 제시하고자 하였음.
1) 그래핀 CVD 합성
- 그래핀 CVD 공정의 CH4와 H2 기체 혼합비를 20:1, 15:1, 10:1, 5:1, 1:1로 변화시켜가며 합성함에 따라 라만분
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