초록 ▼

제1장. 연구개발의 필요성 및 동향
1절. 연구개발의 중요성(필요성)
1. 연구개발 개요
〇 반도체 산업의 발달과 더불어 반도체 산업 공정에서 발생되는 유해 배출가스의 량 및 가스의 종류의 증가로 인하여 이들을 처리하기 위한 시스템인 스크러버 역시 대용량 고효율 낮은 유지 비용 등을 목표로 개선, 개발되어지고 있다.
〇 초기 1세대 스크러버의 경우는 주로 낮은 초기투자비용만을 고려한 습식 스크러버가 이용되었으나 대용량의 공정 배출가스 처리가 어려우며 처리 되는 가스 역시 수용성 가스에 국한된 단점들이 있었다.<

제1장. 연구개발의 필요성 및 동향
1절. 연구개발의 중요성(필요성)
1. 연구개발 개요
〇 반도체 산업의 발달과 더불어 반도체 산업 공정에서 발생되는 유해 배출가스의 량 및 가스의 종류의 증가로 인하여 이들을 처리하기 위한 시스템인 스크러버 역시 대용량 고효율 낮은 유지 비용 등을 목표로 개선, 개발되어지고 있다.
〇 초기 1세대 스크러버의 경우는 주로 낮은 초기투자비용만을 고려한 습식 스크러버가 이용되었으나 대용량의 공정 배출가스 처리가 어려우며 처리 되는 가스 역시 수용성 가스에 국한된 단점들이 있었다.
〇 이에 고온에서만 분해되는 난분해성 가스를 처리하기 위해 산화식 처리 과정을 포함한 2세대 Burn & Wet 스크러버가 개발되었다. 하지만 산화이후 발생되는 2차 부산물인 NOx, CO 및 백연 등에 의한 추가적인 오염물질이 배출되는 실정이다.
〇 현재 개발되어지고 있는 스크러버는 2차로 발생되는 추가적인 오염물질 배출을 저감하기 위해 여러 가지 기술들이 복합적으로 조합된 Hybrid 형식을 사용하고 있다. 하지만 Hybrid 시스템 스크러버에 대한 기술력 부족으로 인한 연구 개발은 초기상태에 머물고 있다.

〇 본 연구에서는 반도체 산업 공정에서 배출되는 복합 오염물질 저감 및 처리를 위한 대용량 하이브리드 배기가스 처리장치 개발하고자 한다.
〇 구상된 시스템은 아래 그림과 같이 반도체 공정상에서 배출되는 입자상의 물질을 전지집진기 Prefilter로 제거하고，NOx와 CO 생성량이 적으며 높은 에너지 효율을 갖는 전기가 열방식의 축열식 고온 반응기를 통하여 반도체 공정중 발생되는 온난화 가스인 PFCs를 처리한 후 PFCs 처리 후 발생되는 HF와 등의 수용성 독성가스를 Wet scrubbing system을 통하여 처리한다. 그리고 최종적으로 미처리되고 배출될 수 있는 NOx, HF 등의 오염물질은 고효율 복합 흡수제를 이용한 스크러버를 통하여 가스상 복합오염물질 처리를 극대화하는 하이브리드 스크러버 개발 및 상용화에 목표를 두고 있다.

(출처 : 제1장 연구개발의 필요성 및 동향 9p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 목차 ... 2
• 그림목차 ... 3
• 표목차 ... 7
• 제1장 연구개발의 필요성 및 동향 ... 9
• 1절 연구개발의 중요성(필요성) ... 9
• 2절 연구개발의 국내·외 현황 ... 20
• 3절 연구개발대상 기술의 차별성 ... 23
• 제2장 연구개발의 목표 및 내용 ... 25
• 1절 연구개발의 최종목표 ... 25
• 2절 연도별 연구개발의 목표 및 평가방법 ... 26
• 1. 연도별 연구개발 목표 ... 26
• 2. 연도별 연구개발 사항의 평가방법 ... 26
• 3절 연도별 연구개발 추진체계 ... 28
• 제3장 연구개발 결과 및 활용계획 ... 30
• 1절 1차년도 연구개발 결과 ... 30
• 2절 2차년도 연구개발 결과 ... 87
• 1. 가스 및 유틸리티 공급 시스템 설계 및 제작 ... 87
• 2. 5,000lpm급 시제품 제작 및 보완, 성능 평가 ... 112
• 3. 고효율 복합 흡수제 효율적 회수안 도출 ... 138
• 4. 흡수제 성능 평가 ... 150
• 5. 반도체 공정라인 실증 평가 ... 169
• 6. 5,000 lpm급 hybrid system 오염물질 제거효율 ... 175
• 7. 상용화 운전 세부 계획 ... 180
• 3절 2차년도 연구개발 결과 요약 ... 181
• 1. Thermal Recovery Reactor ... 181
• 2. 다목적 복합 cyclon 흡수제 성능 ... 182
• 4절 연도별 연구개발목표의 달성도 ... 183
• 5절 연도별 연구성과(논문·특허 등) ... 184
• 6절 관련분야의 기술발전 기여도 ... 185
• 7절 연구개발 결과의 활용계획 ... 186
• 제4장 참고문헌 ... 187
• 끝페이지 ... 188