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전이금속계 2차원 소재 원천기술 개발
Synthesis of 2D transition metal dichalcogenide materials and their applications 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 이규환
참여연구자 최승목 , 김용훈 , 이지훈 , 최우성 , 박유세 , 이정훈 , 장명제
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2017-12
과제시작연도 2017
주관부처 과학기술정보통신부
Ministry of Science and ICT
등록번호 TRKO201800002143
과제고유번호 1711062501
사업명 재료연구소연구운영비지원
DB 구축일자 2018-03-10
키워드 전이금속계열 2D 소재.건식.습식.대면적.대량생산.2D TMDs materials.wet process.dry process.large areas.mass production.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201800002143

초록

1. CVD 법에 의한 TMDs 합성 및 응용
1) 2D TMDs 단위 TFT 소자 응용연구
- 실용화 및 대면적화가 가능한 KIMS 고유 스퍼터링 공정을 접목한 2D 반도체소재 대면적 합성 기술 및 미래반도체 TFT 응용가능성 제시
- 2D 반데르 발스결합으로만 이루어진 헤테로소자를 개발하고 이의 광소자 응용 및 매커니즘 규명
- 원자층 도핑기술을 개발하여 2D-MoSe2 소재의 가스센싱 능력 향상 및 매커니즘 규명
2) 차세대 저전력 Flat panel display 소자응용을 위한 상보성 회로소자 구

Abstract

Ⅳ. Research results

(1) Development of TMDs by CVD and device application
- Development of high-performance TFT device using the sputtering film
- Development of the CMOS inverter with large area using the n-MoS2, p-WSe2

(2) Development of TMDs by solution based method
- Devel

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • SUMMARY ... 5
  • CONTENTS ... 6
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 7
  • 제 1 절 연구 추진 계획 ... 7
  • 제 2 절 연구개발의 필요성 ... 9
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 11
  • 제 1 절 기술성 분석 ... 11
  • 제 2 절 경제성 분석 ... 18
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 20
  • 제 1 절 CVD 법에 의한 TMDs 합성 및 전자소자 응용 ... 20
  • 제 2 절 용액법에 의한 TMDs 소재 합성기술 개발 ... 22
  • 제 3 절 위탁연구 내용 ... 26
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 36
  • 제 1 절 2017년 연구개발 목표달성 실적 및 사업추진 진척도 ... 36
  • 제 2 절 연구결과 기대성과 ... 40
  • 제 3 절 기대효과 ... 40
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 42
  • 제 1 절 연구성과 활용계획 ... 42
  • 제 2 절 향후 연구결과 활용 및 차년도 계획 ... 42
  • 제 6 장 참고문헌 ... 43
  • 끝페이지 ... 44

표/그림 (54)

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참고문헌 (25)

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