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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한밭대학교 Hanbat University |
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연구책임자 | 최진일 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-05 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800004658 |
과제고유번호 | 1711036437 |
사업명 | 개인연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-05-05 |
키워드 | 나노패터닝.광파장 필터.레이저 간섭 리소그래피.표면 플라즈몬.광전소자.광학/구조 시뮬레이션.박막 전사 공정.광특성 및 광안정성.평가 투명전자소자.Nano-patterning.Light Wavelength Filters.Laser Interference Lithography.Surface Plasmon.Photoelectric Devices.Optical/Structural Simulation.Thin-film Transfer Process.Optical Characteristics/Stability Evaluation.Transparent Electronics. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800004658 |
연구의 목적 및 내용
나노구조체 기반 광전소자용 광파장 필터 개발
1· 레이저 간섭 리소그래피(LIL) 기술을 이용한 나노구조체 어레이 개발
- 대면적 나노구조체 형성 기술 최적화 및 어레이 제작을 위한 핵심 요소 기술 개발
- 포토 리소그래피 기술을 접목하여 선택적 나노패터닝 공정 확립
- 다양한 기판에 금속 나노구조체 어레이 제작
2· 광전소자용 광파장 필터 개발
- 광전소자용 광파장 필터의 효율 향상을 위한 광학 시뮬레이션
- 표면 플라즈몬 효과의 최적화를 위한 구조 설계
- L
Purpose& contents
1· Fabrication of nanostructures using laser interference lithography (LIL)
- Development and optimization of large area nanopatterning technique
- Fabrication of nanostructures on various substrates
2· Development of light wavelength filters for photoelectric devices
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