초록 ▼

1. 그래핀 분리 원천 기술 및 이를 이용한 고이동도 그래핀 FET 소자 구현
2. 고성능의 그래핀 소자 제작을 위한 iCVD 기반의 절연막 형성 기술 및 패터닝된 그래핀과 금속의 접합 형성 등의 단위 공정 기술 개발
3. 고이동도 그래핀 소자를 위한 Wrinkle-free 그래핀 합성 기술 개발
4. 초고속 RF 그래핀 소자 구현
5. C60/금속 & C60/고분자 계면을 활용해 낮은 동작 전압과 장기 리텐션이 동시 구현된 최초의 유기 메모리 개발 및 고감응성 유기 포토 다이오드 개발
6. C60/유기물

1. 그래핀 분리 원천 기술 및 이를 이용한 고이동도 그래핀 FET 소자 구현
2. 고성능의 그래핀 소자 제작을 위한 iCVD 기반의 절연막 형성 기술 및 패터닝된 그래핀과 금속의 접합 형성 등의 단위 공정 기술 개발
3. 고이동도 그래핀 소자를 위한 Wrinkle-free 그래핀 합성 기술 개발
4. 초고속 RF 그래핀 소자 구현
5. C60/금속 & C60/고분자 계면을 활용해 낮은 동작 전압과 장기 리텐션이 동시 구현된 최초의 유기 메모리 개발 및 고감응성 유기 포토 다이오드 개발
6. C60/유기물 & C60/산화물 계면을 활용해 고속 C60 다이오드 및 정류기를 구현하고 인버터와 집적화된 회로를 구성해 13.56 MHz RF 신호에 대한 동작을 확인
7. 소프트 기판 위에서 Top-gate Graphene FET 제작 및 전기적 특성 분석
8. Stainless Steel(STS) 기반의 소프트 기판의 평탄화 및 표면처리 연구
9. 선택적 열처리 공정을 통한 나노 소자의 전기적 특성 변화 모델링
10. 대면적의 고품질 CVD 그래핀 합성 및 20nm급 하향식 패터닝
11. 그래핀 상에 나노입자, 10nm 이하 나노기공 형성, 실시간 관찰 및 센서소자화

(출처 : 보고서 요약서 3p)

Abstract ▼

According to the recent IC technology trends, the demands for soft materials have been increased to develop the advanced-soft electronics such as biomedical devices, plastic logic devices, health monitoring devices and so on. In order to improve the performance of the soft electronics, not only the

According to the recent IC technology trends, the demands for soft materials have been increased to develop the advanced-soft electronics such as biomedical devices, plastic logic devices, health monitoring devices and so on. In order to improve the performance of the soft electronics, not only the conventional soft materials have been studied but also two-dimensional mono layers of layered materials, including graphene, hexagonal boron nitride (h-BN), and transition metal dichalcogenides (TMDs), have attracted much attention due to their ultra-thin body thickness and remarkable mechanical properties. It is therefore essential to develop fundamental process and device fabrication technologies to fully utilize the properties of those materials to achieve higher performance. In this report, various techniques for fabricating high performance of soft devices are presented. The electrical properties are improved by analyzing the interface and contact between soft material and substrate. In addition, it provides a basis for fundamental technology of integrated soft devices. These results are expected to create new applications and market of soft electronic devices by overcoming limitations of conventional organic electronics.

(출처 : SUMMARY 6p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• S U M M A R Y ... 6
• C O N T E N T S ... 7
• 목차 ... 8
• 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 9
• 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 11
• 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 12
• 제1절 소프트 소자 제작을 위한 단위 공정 기술 ... 12
• 1. 소프트 기판 위에서 그래핀 전사 원천 기술 ... 12
• 2. rGO 삽입층을 활용한 wrinkle이 없는 그래핀 성장 기술 ... 13
• 제2절 탄소소재/유기물 하이브리드 구조 연구 ... 15
• 1. 소프트 메모리 성능향상을 위한 금속나노입자/절연막 계면 엔지니어링 ... 15
• 2. 저 도핑된 플러린을 이용한 고감응성 유기 포토 다이오드 ... 16
• 제3절 소프트 나노선 소자 기초 연구 ... 18
• 1. 나노선 소자의 노이즈 측정 및 분석 ... 18
• 2. 나노선 소자에 대한 인덕션 열처리 ... 20
• 제4절 소프트 탄소소재 RF 구조설계 ... 22
• 1. Top-gate GFET 개발 및 STS기판 기반에서의 전기적 특성분석 ... 22
• 제5절 소프트 탄소소재 나노구조 제작 및 분석 ... 23
• 1. 선택적 고품질 그래핀 합성 및 소자 제작 ... 23
• 2. 나노구조가 형성된 그래핀(하이브리드 재료)의 가스센서 응용 ... 25
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 28
• 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 31
• 제 6 장 연구개발 과정에서 수집한 해외과학기술 정보 ... 32
• 제 7 장 참고문헌 ... 40
• 끝페이지 ... 42