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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)쎄미시스코 |
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연구책임자 | 우봉주 |
참여연구자 | 임영길 , 민광식 , 최성진 , 정재훈 , 양두안 , 박윤성 , 박홍주 , 송인재 , 임희택 , 김지형 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201800012353 |
과제고유번호 | 1425073303 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2018-07-14 |
키워드 | 식각 종료점 플라즈마 공정 관찰. |
□ 개발목표
- 계획 : 450mm 웨이퍼대응 EPD시스템 개발
- 실적 : 450mm 웨이퍼대응 EPD시스템 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Effective Wavelength
- 계획 : 185-870nm
- 실적 : 185-870nm
2. Resolution
- 계획 : 2nm
- 실적 : 2nm
3. ADC Rate
- 계획 : 16bit
- 실적 : 16bit (216, 65536)
4. 시야각
- 계획 : 30
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