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NTIS 바로가기주관연구기관 | 와이즈플래닛(주) |
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연구책임자 | 홍기현 |
참여연구자 | 이준환 , 나상찬 , 임재중 , 오준호 , 하재철 , 안성규 , 신희성 , 임현상 , 석의수 , 김상범 , 김지섭 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800012481 |
과제고유번호 | 1425072725 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2018-07-14 |
키워드 | 공기부양.엘시디.오엘이디.비접촉.부상판. |
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 기판크기
- 계획 : 2,200 X 2,500
- 실적 : 2,200 X 2,500
2. 부상높이
- 계획 : 최대 200um
- 실적 : 최대 200um
3. Glass 평탄도
- 계획 : ±30 이내
- 실적 : ±30 이내
4. 무접촉반송
- 계획 : 1,000매 반송 무접촉
- 실적 : 1,000매 반송 무접촉
5. Glass 반송속도
- 계획 : 300mm/s
- 실적 : 300mm/s
6. 내구성
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