초록 ▼

□ 개발목표
- 계획 : 복합 Multi 섬유경을 통한 고효율 및 Long life cycle 성능을 갖는 반도체 Wafer 가공용 마이크로 카트리지 필터 개발
- 실적 : 다층구조의 복합 Multi 섬유경을 통한 고효율 및 Long life cycle 성능을 갖는 반도체 Wafer 가공용 마이크로 카트리지 필터 개발

□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 섬유직경 (㎛)
- 계획 : 1㎛이하
- 실적 : 1㎛이하
2. 제거효율 (%)
- 계획 : 99.99
- 실적 : 99.99

□ 개발목표
- 계획 : 복합 Multi 섬유경을 통한 고효율 및 Long life cycle 성능을 갖는 반도체 Wafer 가공용 마이크로 카트리지 필터 개발
- 실적 : 다층구조의 복합 Multi 섬유경을 통한 고효율 및 Long life cycle 성능을 갖는 반도체 Wafer 가공용 마이크로 카트리지 필터 개발

□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 섬유직경 (㎛)
- 계획 : 1㎛이하
- 실적 : 1㎛이하
2. 제거효율 (%)
- 계획 : 99.99
- 실적 : 99.99%
3. 포집효율 (g)
- 계획 : 20이상
- 실적 : 57.23
4. 유량 (psi/GPM)
- 계획 : 3.5이하
- 실적 : 3.5이하
5. 통기량 (CFM/psi)
- 계획 : 2.3이상
- 실적 : 2.3이상
6. 내압성능 (kgf/㎠)
- 계획 : 4.0이상
- 실적 : 4.0이상

□ 기대효과
◦ 수입 대체 효과
◦ CMP Process 개발 기술 향상
◦ 청정 식음료 산업의 발전

□ 적용분야
◦ 반도체 Wafer가공용 CMP slurry maker의 슬러리 정제용
◦ 청정 식음료 산업
◦ 전자재료 관련 산업

(출처 : 요약서 3p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 요 약 서 (초 록) ... 3
• 목차 ... 4
• 제 1장 개발기술의 개요 ... 6
• 제 1절 대상기술의 개요 ... 6
• 제 2절 개발기술의 중요성 ... 7
• 제 3절 국내․외 관련기술의 현황 ... 8
• 1. 국내 관련기술 현황 ... 8
• 2. 국외 관련기술 현황 ... 9
• 제 2장 개발목표 및 개발내용 ... 11
• 제 1절 기술개발 목표 ... 11
• 1. 최종 목표 ... 11
• 2. 기술개발 내용 및 업무분장 ... 11
• 3. 기술개발 목표 ... 13
• 제 2절 세부 계획 및 개발내용 ... 14
• 1. 경쟁사 제품 구조분석 및 제품 특성 분석 ... 14
• 2. 최적 Melt spinning 원료 선정 및 방사시험 ... 18
• 3. 설비도입 및 최적 Melt spinning 제조 공정 기술 개발 ... 19
• 4. Multi-fiber diameter spinning을 통한 필터 효율 극대화 기술 개발 ... 26
• 5. Life cycle 극대화를 위한 Anti Plugging 기술개발 ... 29
• 6. 시제품 제조 및 제품 생산 공정 최적화 기술 개발 ... 42
• 7. 현장평가 ... 46
• 8. 개발제품 성능확보 ... 55
• 제 3장 성과요약 및 기대효과 ... 73
• 제1절 개발성과요약 ... 73
• 1. 목표대비 기술개발 달성결과 ... 73
• 2. 지적재산권 출원 ... 74
• 3. 기대효과 ... 75
• 제2절 양산∙마케팅 전략 및 계획 ... 76
• 부 록 ... 77
• 끝페이지 ... 102