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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)이루자 |
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연구책임자 | 한기열 |
참여연구자 | 유환규 , 최재문 , 정규철 , 민연식 , 고광수 , 김문식 , 최유화 , 오상준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-12 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800012641 |
과제고유번호 | 1425070163 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2018-07-21 |
키워드 | 결정화.스퍼터.유기발광다이오드.비정질실리콘.다결정실리콘. |
□ 개발목표
- 계획 : 8세대 SGS 결정화용 Ni sputter 핵심 모듈 제작 및 기술 확보
- 실적 : Ni sputter 핵심 모듈 제작 완료 및 기술 확보함
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 도핑량 [atoms/cm2]
- 계획 : 1012~1014
- 실적 : 1012~1014
2. 결정화도 [%]
- 계획 : 88
- 실적 : 92.7%
3. 생산성
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