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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)씨디에스 |
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연구책임자 | 변상두 |
참여연구자 | 박신 , 김재율 , 한용진 , 이범신 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-02 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800012992 |
과제고유번호 | 1425060973 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2018-12-01 |
키워드 | 박막태양전지제조장비.스퍼터.박막태양전지.원통형타켓.증착속도.CIGS. |
□ 개발목표
- 계획 : CIGS박막 태양전지 기초 Data 확보를 위한 Proto Type 개발
- 실적 : 개발완료
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. Target사용효율
- 계획 : 70%
- 실적 : 70%이상
2. 증착속도
- 계획 : 80[㎚/min]
- 실적 : 81㎚/min
3. 소스크기
- 계획 : 500[㎝]
- 실적 : 300[㎝]
4. 조성비
Cu
· CIG
- 계획 : 0.8~0.9
목차 Contents
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