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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)필옵틱스 |
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연구책임자 | 한기수 |
참여연구자 | 유용성 , 강진우 , 최정수 , 조태형 , 성학제 , 나동호 , 김광석 , 최광명 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800013094 |
과제고유번호 | 1425060992 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-12-01 |
키워드 | 인쇄회로기판.직접묘화노광.디엠디.노광.마스크리스.PCB.Direct Imaging.DMD.Exposure.Maskless. |
□ 개발목표
- 계획 : 광원으로 UV 초고압 수은 램프를 사용하는 DMD 방식의 PCB용 Direct Imaging 장비 개발
- 실적 : DMD를 사용한 디지털노광장비 개발로 광학시스템(UV램프,조명 광학계,결상광학계), 정밀스테이지 제작 및 제어, 디지털노광이미지처리 기술 개발을 개발하여 Direct Imaging 장비를 개발함
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 최소선폭
- 계획 : ≦10um
- 실적 : 최소선폭 10um 이하 노광함
2.Tact
- 계획 : ≦240s
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