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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)이그잭스 |
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연구책임자 | 홍성재 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800013129 |
과제고유번호 | 1425061748 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-12-01 |
키워드 | 절연막.폴리이미드.감광제.포토리소그라피. |
□ 개발목표
- 계획 :
1. 절연성이 우수한 포토레지스트 제조를 위한 다양한 폴리이미드 합성
2. Resolution과 현상 특성이 우수한 Formulation 개발
3. Photospeed가 빠른 고감도의 절연막 PR 개발
4. OLED 용 감광성 절연막의 제조공정 Process 확립
- 실적 :
1) 절연성 확보
2) 해상도 우수
3) 감도 우수
4) 제조공정 Process 확립
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 유전율
- 계획 : 3.1 이하
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