초록 ▼

○ 실험결과와 10%이내에서 일치하는 시뮬레이션 교정법을 개발하였음. SiC에서는 상용 시뮬레이션 툴의 결과와 일치하지 않는 경우가 많음. 이를 극복하기 위해 교정법을 개발하였고 소자 개발 과제에 적용하여 실험횟수를 줄이고 최적화 설계를 용이하게 만들었음.

○ 전력소자의 신뢰성분석을 위한 핵심 툴인 파워사이클링 테스터를 개발함. 본 과제에서는 파워사이클링 테스터(power cycling tester, PCT) S/W, 전체시스템 제어 및 데이터 처리 S/W, 및 온도교정용 H/W 및 S/W 등, 파워사이클링 토털 솔루션

○ 실험결과와 10%이내에서 일치하는 시뮬레이션 교정법을 개발하였음. SiC에서는 상용 시뮬레이션 툴의 결과와 일치하지 않는 경우가 많음. 이를 극복하기 위해 교정법을 개발하였고 소자 개발 과제에 적용하여 실험횟수를 줄이고 최적화 설계를 용이하게 만들었음.

○ 전력소자의 신뢰성분석을 위한 핵심 툴인 파워사이클링 테스터를 개발함. 본 과제에서는 파워사이클링 테스터(power cycling tester, PCT) S/W, 전체시스템 제어 및 데이터 처리 S/W, 및 온도교정용 H/W 및 S/W 등, 파워사이클링 토털 솔루션을 KERI 고유기술로 개발함. 따라서 개발된 기술은 SiC 전력소자 고유의 신뢰성 분석에 유용하게 사용될 뿐만 아니라 기술 이전도 가능함.

○ 본 과제에서 개발한 기술 3건이 전력반도체 분야의 최고 금액의 기술이전인 ‘SiC 전력반도체 소자공정기술 이전’건에 포함됨.

○ 본 과제에서 개발한 웨이퍼 수준의 정특성 측정 시스템은 내외부 과제에서 활동됨. 이는 전문화사업의 취지인 KERI 고유 기반기술 개발을 통한 내부 역량 강화와도 부합하는 성과임.

(출처 : 보고서 초록 3p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• 목차 ... 9
• 제 1장. 연구개발과제의 개요 ... 11
• 1.1절. 연구개발 기술의 개요 ... 11
• 1.2절. 해결하고자 하는 문제 ... 13
• 1.3절. 해결방법(차별화 전략) ... 15
• 제 2장. 국내외 기술개발 현황 ... 17
• 2.1절. SiC 초고압소자 기술 동향 ... 17
• 2.2절. 파워사이클링 기술 동향 ... 19
• 제 3장. 연구개발수행 내용 및 결과 (25쪽∼50쪽) ... 21
• 3.1절. 고전압종단구조 평가용 TEG 설계 및 공정 개발 ... 21
• 3.1.1절. mesa, FLR, JTE, combo 구조 설계 ... 21
• 3.1.2절. convex형 mesa 형성을 위한 식각공정 개발 ... 28
• 3.1.3절. 낮은 누설전류를 갖는 표면 패시베이션층 개발 ... 30
• 3.2절. 3.3kV급 고전압 종단구조 평가용 TEG 개발 ... 36
• 3.2.1절. 3.3kV급 전력소자 개발을 위한 종단 구조용 TEG 개발 ... 36
• 3.2.2절. EBIC/EL microscopy를 이용한 불량분석 방법론 혹은 불량원인 분석 ... 41
• 3.2.3절. Power Cycling Test용 정밀전류 제어 및 측정을 위한 H/W 설계 ... 44
• 3.3절. 4.5kV급 고전압 종단구조 평가용TEG 개발 ... 53
• 3.3.1절. EBIC/EL microscopy를 이용한 불량분석 방법론 혹은 불량원인 분석 (나문경 5쪽 이상) ... 53
• 3.3.2절. 시스템에 적용된 전력반도체소자의 신뢰성 평가를 위한 power cycling test S/W 설계 및 신뢰성 평가 ... 58
• 제 4장. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 68
• 제 5장. 연구개발결과의 활용계획 ... 69
• 제 6장. 참고문헌 ... 70
• 끝페이지 ... 71