![BPW simulation의 변수간 관계도 [Blue:주요변수, Red:목표항목]](https://nrms.kisti.re.kr/bitextimages/TRKO202000007943/TRKO202000007943_40_image_1.png "BPW simulation의 변수간 관계도 [Blue:주요변수, Red:목표항목]")
![SiC trench profile [ SEM 이미지 ]](https://nrms.kisti.re.kr/bitextimages/TRKO202000007943/TRKO202000007943_81_image_2.png "SiC trench profile [ SEM 이미지 ]")
![H2 anneal이후 SiC trench profile [ 좌: 1400℃,30min,우: 1400℃,50min ]](https://nrms.kisti.re.kr/bitextimages/TRKO202000007943/TRKO202000007943_90_image_188.png "H2 anneal이후 SiC trench profile [ 좌: 1400℃,30min,우: 1400℃,50min ]")
![H2 anneal이후 SiC trench profile [ 1400℃,20min ]](https://nrms.kisti.re.kr/bitextimages/TRKO202000007943/TRKO202000007943_90_image_189.png "H2 anneal이후 SiC trench profile [ 1400℃,20min ]")
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| 주관연구기관 | 한국전기연구원 Korea Electrotechnology Research Institute |
|---|---|
| 연구책임자 | 방욱 |
| 참여연구자 | 강인호 , 김형우 , 문정현 , 나문경 , 석오균 , 김상철 , 김남균 , 정현진 , 김영조 , 구상모 , 하민우 |
| 보고서유형 | 1단계보고서 |
| 발행국가 | 대한민국 |
| 언어 | 한국어 |
| 발행년월 | 2020-02 |
| 과제시작연도 | 2019 |
| 주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
| 등록번호 | TRKO202000007943 |
| 과제고유번호 | 1711101304 |
| 사업명 | 한국전기연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
| DB 구축일자 | 2020-07-29 |
| 키워드 | 탄화규소.모스펫.트렌치.다이오드.고전류밀도.SiC.MOSFET.trench.diode.high current density. |
| DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO202000007943 |
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